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谐振式微机械加速度计设计的关键技术＊
第21卷第4期 传感技术学报 v01．21No．4
CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS
2008年4月 JOLrP矾AL Apr．2008
Critical in of Resonant
Micromechanicai
TechnologiesDesign
REN Lu-da
Jie’，FAN
Shang-chun，WANG
Instrument 100083，China)
(Schoolof Sci棚ceOpto-electronicsEngineering，BeihangUniversity，BeOing
resonant sta—
Abstract：Micromechanicalaccelerometerhasthe ofdirect
advantagesfrequencyoutput，high
studiesthemechanicsofmicromechanicalresonantaccelerometer，
bility，andhighprecision．Thispaper
andcreatesthemathematicalmodelofthefirst-levelstructure．1everstructureandthesecond-level
sensing
structure．Wealso thatthe ofthemeasurementofthe accel—
sensing explain keytechnique highsensitivity
erometeristhe ofthe resonatorandthe
beam，themass，the mechanisms，
design bearing proof leverage
and astructureofmicromechanicalresonantaccelerometer．Atlast．the andthe
propose optimumdesign
theemulationofthestructureare the resonantfre—
resultof achieved，and indexesare：the
performance
is98858 valueis the is24．52
quency Hz，theQ 673．9，andsensitivityHz／g。．
words：MEMS；micromechanicalresonant
Key accelerometer；resonator；modeling
E]巳垃C：2575；7320E
谐振式微机械加速度计设计
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