第七章 新型气体传感器.pdf

2015/11/10 7.1 概 述 第七章 新型气体传感器及阵列 7.1.1 气体传感器及气体检测方法 A. 概念 7.1 概 述 气体传感器是指能将被测气体浓度转换 7.2 气体传感器敏感机理 为与其成一定关系的电量输出的装置或器件。 7.3 新型气体传感器 电子科技大学电子科技大学 敏感材料与传感器敏感材料与传感器 课程组课程组 制作制作 电子科技大学电子科技大学 敏感材料与传感器敏感材料与传感器 课程组课程组 制作制作 B. 气体传感器必须满足下列条件 7.1.2 气体传感器的分类  气体传感器从结构上区别可分为两大类： (1) 能够检测爆炸气体的允许浓度、有害气体的允许浓度和 其它基准设定浓度．并能及时结出报警、显示和控制信 （1）干式气体传感器 号； （2）湿式气体传感器 (2) 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感；  凡构成气体传感器的材料为固体者均称为干式气 (3) 性能长期稳定性好； (4) 响应迅速、重复性好； 体传感器； (5) 维护方便、价格便宜，等。  凡利用水溶液或电解液感知待测气体的称为湿式 气体传感器。 电子科技大学电子科技大学 敏感材料与传感器敏感材料与传感器 课程组课程组 制作制作 电子科技大学电子科技大学 敏感材料与传感器敏感材料与传感器 课程组课程组 制作制作 接触燃烧式 7.2 气体传感器敏感机理 半 半导体陶瓷型 导 厚膜型 体 薄膜和微粒子型  四种模式的气敏机理 式 干 1. 整体原子价控制理论 式 固体电介质式 2. 能级生成理论 （ZrO2 ） 气敏元件 3. 表面电荷层理论 红外线吸收式 4. 接触粒界势垒理论 导热率变化式 （热线，热敏