纳米压印技术研究进展.pdf

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2017-09-23 发布于湖北
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纳米压印技术研究进展

Contact author: Dr. Xudi Wang Hefei University of Technology Hefei, 230009 Email: xudi_wang@ Tel: 纳米压印及其相关技术王旭迪付绍军 Outline • 介绍 • 纳米压印(NIL)技术 • NIL应用 • Roll-to-roll NIL ●其他纳米加工技术 • 结束语 05/10/2004 Title 2 微纳米加工技术的起源 05/10/2004 Title 3 微纳米加工的基本形式 05/10/2004 Title 4 微纳米加工技术的发展历史 05/10/2004 Title 5 纳米加工的定义 •Sub-100nm scale (or sub-μm) •Making 1D, 2D and 2.5D nanostructures •Excluding synthesis of nanoparticles or CNTs •Leading to functional devices 05/10/2004 Title 6 纳米加工的定义 •Nanofabrication vs. Nanomanufacturing •Scientific research oriented •One-off or a few-off devices •Throughput, uniformity and quality control are less of issues •Reliability and repeatability are important •Less concern of economical return 05/10/2004 Title 7 微米加工与纳米加工 05/10/2004 Title