线切设备技术发展及在多晶硅片切割中的应用-连城黎志欣20160516.pdf

大连连城数控机器股份有限公司 黎志欣博士 多晶金刚线切与黑硅技术论坛 中国苏州 2016年5月22 日 Dalian Linton NC Machine Co.,Ltd. • 连城机器总公司位于中国大连 • 子公司及办公室位于美国罗彻 斯特、中国无锡、中国沈阳、 中国上海等地 • 全公司现有450余名员工 • 连城机器是线切设备、晶体生 长设备、硅片生产 自动化 设备的领先制造厂家 QPJ1660C金刚线切片机是大连连城瞄准当 今国际先进水平开发的用于硅材料及脆硬 材料的切片加工设备。该机床经过QPJ1654、 QPJ1660、QPJ1660A、QPJ1660B四代机型改 进而成的定型产品。 用户现场需具备条件： 供给的冷却水压力0.35~0.5Mpa 回水压力小于0.15 Mpa 供给的冷却水进口温度8℃~12℃ 供给的冷却水用水量 （最大）15m3/h 供给的压缩空气压力0.40.6 Mpa 供给的压缩空气用量10~20m3/h 动力电源 （三相五线制）380V/50Hz 机床额定电流280A 机床额定功率170Kw 加工车间温度25℃左右 加工车间湿度40%~50%左右 大连连城QPJ1660C金刚石线多线切片机特点： 电气部分采用西门子必威体育精装版控制系统，人机界面友好，操作便捷。 线速度、主电机温度、动定支承主轴温度、扭矩、切削液流量、冷却 水、切削液进出温度、流量、切削液罐液位均具有实时监测。 大连连城QPJ1660C金刚石线多线切片机特点： 进给滑台采用四根滚柱直线导轨结构，TTV大大降低。 大连连城QPJ1660C金刚石线多线切片机特点： 夹具采用碟形弹簧夹紧；导轮为轻质导轮，钢线运动平稳。 Fe Fe 100µm 100µm ＋ ＋ SiC Slurry SiC Slurry SIC 17 Ni Fe Diamond Wire 100µm Diamond Silicon Ingot • 19 Wafer by slurry Wafer by Diamond wire 硅片表面的扫描电镜照片 硅片断面的扫描电镜照片 目前电镀金钢线切割单晶硅、树脂线 切割多晶硅工艺已经成熟，大大降低了 切割成本。 100µm 传统砂浆工艺与树脂金刚线多 线切片机切割的多晶硅片对比 电镀金钢线与树脂金刚线对比 多线切割方式比较 砂浆切割 树脂金刚线 电镀金刚线 单晶或多晶