薄膜物理 薄膜制备方法简.pdf

薄膜物理 薄膜物理 刘 丰 珍 刘 丰 珍 刘 丰 珍 物理科学学院，半导体物理实验室 物理科学学院，半导体物理实验室 物理科学学院，半导体物理实验室 实验室：玉泉路，教学楼412 实验室：玉泉路，教学楼412 实验室：玉泉路，教学楼412 Tel Tel Tel E-mail: liufz@gucas.ac.cn E-mail: liufz@gucas.ac.cn E-mail: liufz@gucas.ac.cn 参 考 书 参 考 书 1. 电子薄膜科学 杜经宁 J.W.迈耶 L.C.费尔德曼.黄信凡 杜家 1. 电子薄膜科学 杜经宁 J.W.迈耶 L.C.费尔德曼.黄信凡 杜家 方 陈坤基 译 ，科学出版社，北京，1997。 方 陈坤基 译 ，科学出版社，北京，1997。 2.Quantum Heterostructures -- microelectronics and 2.Quantum Heterostructures -- microelectronics and Optoelectronics, V.V.Mitin et al. Cambridge University Optoelectronics, V.V.Mitin et al. Cambridge University Press ，1998. Press ，1998. 3. 薄膜生长 吴自勤 3. 薄膜生长 吴自勤 4. Characterization of amorphous and crystalline rough 4. Characterization of amorphous and crystalline rough surface principles and applications Zhao Yiping et al, surface principles and applications Zhao Yiping et al, Academic Press, 2001 Academic Press, 2001 5. 其他参考书: 5. 其他参考书: 薄膜物理 薛增泉 薄膜物理 薛增泉 电子薄膜材料 曲新喜 电子薄膜材料 曲新喜 Film Material Sciences of Microstructures 微电子工艺. Film Material Sciences of Microstructures 微电子工艺. 2 主要内容 主要内容 第一章 薄膜制备方法简述 第一章 薄膜制备方法简述 第二章 薄膜科学技术的物理基础：表面原子结构，表面能，固体 第二章 薄膜科学技术的物理基础：表面原子结构，表面能，固体 中的扩散。 中的扩散。 第三章 表面生长动力学过程：表面成核模型，薄膜生长模式，台 第三章 表面生长动力学过程：表面成核模型，薄膜生长模式，台 阶生长模式，薄膜成核与生长的原子理论, 非平衡生长 阶生长模式，薄膜成核与生长的原子理论, 非平衡生长 第四章 异质外延薄膜： 异质外延，薄膜应力和应变，应变能和 第四章 异质外延薄膜： 异质外延，薄膜应力和应变，应变能和 应变层稳定性，临界厚度，扩散蠕变弛豫，失配位错和弹性 应变层稳定性，临界厚度，扩散蠕变弛豫，失配位错和弹性 能，应变超晶格。 能，应变超晶格。 第五章 非晶薄膜：非晶薄膜的亚稳态，制备，晶化，固相外延。 第