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钨灯丝扫描电镜
日本电子(JEOL)
扫描电子显微镜(SEM)介绍与应用
捷欧路（北京）科贸有限公司
促销部 应用工程师：朱明芬
Email：zhu.mingfen@
1 Electron Probe Micro Analyzer
一. 什么是扫描电镜？
2 Electron Probe Micro Analyzer
Scanning Electron Microscope
利用电子束去观察样品表面的一种工具
适用于： 不适用：
○ 固体的 ○ 液态的，含水的
○ 在真空中稳定的 ○ 在真空中不稳定的
○ 导电的 等. ○ 磁性粉末（注意）
○ 含油污的
3 Electron Probe Micro Analyzer
扫描电镜工作原理
Electron Probe Micro Analyzer
信号的产生
Incident Electron Probe
Secondary Electron
X-ray Backscattered Electron
Cathode luminescence Auger
Electron
Specimen
Absorbed Electron(Current)
Transmitted Electron （If Specimen is very thin）
5 Electron Probe Micro Analyzer
6 Electron Probe Micro Analyzer
典型图片 (样品: 电子零部件)
信号与信息
信号 主要信息
1 二次电子 表面细节
2 背散射电子 成分分布
3 特征X射线 元素分布
a) 二次电子图像(SEI)
b)背散射电子图像(COMPO) c)被散射电子图像 (TOPO) d) X-ray元素面分布图 (Sn)
7 Electron Probe Micro Analyzer
二. SE/BE/X-ray
8 Electron Probe Micro Analy
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