高等级无尘室培训教材.pdf

科技有限公司 无尘车间培训教材 PC Glass Team 2015.03.04 1 目 录 一、无尘室基础知识 P3 二、无尘室设计 P10 1.无尘室定义 1.无尘室分类 2.相关术语 2.过滤网设计 3.洁净度等级标准 3.过滤网等级分类 4.颗粒感性认知 4.过滤网的使用寿命 5.各种条件下微尘状况 5.温湿度控制系统示意图 6.无尘房污染源 6.无尘房正压控制 三、洁净室管控手段 P22 四、洁净室人员管理 P26 1.管控测试流程 1.洁净室内发尘源及量 2.监测采样项目列表 2.人的污染 3.洁净度的测试采样 3.无尘室进出人员管理规定 2 一、无尘室基础知识 1.定义 : 无尘室(Clean Room) 无尘室是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细 菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度 及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内，而给 予特别设计的房间。亦即不论外面空气条件如何变化，其室内均 能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素 性能的特性。 因此，无尘室是保证诸如医药、半导体、涂装、太阳能电 池板等对环境要求较高之行业进行批量生产所必备之条件要求。 3 一、无尘室基础知识 2.术语 :  悬浮微粒 ：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在 0.1～5μm 之间。  洁净度 ：用以表征单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区 分空间洁净程度的标准。  风淋室：通过风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它 是减少外来污染的有效途径之一。  洁净工作服 ：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的 洁净服装。  高效空气过滤器 HEPA ：在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm 粒子的捕集 效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa 以下的空气过滤器。  超高效空气过滤器 ：在额定风量下，对粒径0.1～0.3μm 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力在280Pa 以下的空气过滤器。 4 一、无尘室基础知识 3.洁净度等级标准 国际标准ISO 14644-1 和 国家标准GB50073-2001 洁净度等级 5 一、无尘室基础知识 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E （1992年） 注:1m3=35.2 ft3