Tescan LMU操作手册.pdf

TESCAN LMU 操作手册 目 录 第一部分 操作…………………………………………………………………………………2 第一章 鼠标快捷键……………………………………………………………………2 第二章 开机步骤………………………………………………………………………5 第三章 样品的更换……………………………………………………………………8 第四章 拍摄图片的步骤与技巧…………………………………………………… 12 第五章 关机………………………………………………………………………… 17 第六章 高低真空转换……………………………………………………………… 18 第二部分 保养……………………………………………………………………………… 22 第一章 灯丝的更换及灯丝座的清洗……………………………………………… 22 第二章 使用高于150Pa真空时光阑的更换……………………………………… 29 VEGA TC菜单(中英对照)…………………………………………………………………… 33 说明：由于 TESCAN 软件不断更新，可能出现实际控制界面图片和操作手册图片不完全相符合，敬请 见谅。 1 第一部分 操作 第一章 鼠标快捷键 一. 左手鼠标快捷键介绍 图 1-1 1——选择放大倍率。 位置 1 图 1-2 1）按 键减小放大倍数，按 键增大放大倍数，也可在图示位置 1 处直接输入期望 的放大倍数（建议操作熟练后再使用直接输入的方式）； 注意：输入数值后应按回车确认放大倍数，或按 键。 2 ） 表示的每次减小或增大放大倍数的步长，中间的数值大则每次放大倍数改变的 步长就大，中间的数值小则每次放大倍数改变的步长就小，步长数值的改变大小为 1~9， 一般都使用中间值 。 2 2——选择工作距离。 图 1-3 1）按 键减小工作距离，按 键增大工作距离。 2 ） 表示的每次减小或增大工作距离的步长，中间的数值大则每次工作距离改变的 步长就大，中间的数值小则每次工作距离改变的步长就小，步长数值的改变大小为 1~9， 一般都使用中间值 。 3——选择消像散。 位置 1 图 1-4 1）消像散与改变放大倍数以及工作距离不同，改变放大倍数以及工作距离只要左右推动 鼠标球7 （即只改变X 方向数值），而消像散则需要调节 X 方向和 Y 方向才能成功消除像 散，同样按 键减小工作距离，按 键增大工作距离。也可在图示位置 1 处直接输 入期望消像散（除非可判断图片因为像散原因而完全不清晰，否则不建议使用）； 2 ）在消像散是建议使用步长 。。 4——自动调节对比度和灰度。 5——自动调整 PC 值。 6——存取图片。 7——手动调整 PC 值。 8，9——调整 X 方向值。 10，11——调整 Y 方向值。 12——滚动可调整相应值。 二.右手鼠标快捷键介绍（普通鼠标） 左键：单击——选取菜单、激活窗口、拖动小视窗、恢复图片到原来倍数。 双击——打开/关闭小视窗。 中间滚轮：上下推动——调整扫描速度。