多晶硅生产中尾气回收装置工艺改进.pdf

多晶硅生产中 尾气回收装置工艺改进 内蒙古神舟硅业有限责任公司 目录 一、摘要 二、引言 三、工艺改进方法、效果 四、结束语 一、摘 要 目前国内多晶硅生产中，大多采用改良西门子法技术，该技术制备 多晶硅生产过程中，尾气回收装置有以下特性： 1 特点：工艺较复杂，单元操作较多 2 目的：尾气回收利用，系统产生的杂质进行分离 3 缺点：部分单元不能满足物料彻底分离，质量低，成本高 4 措施：工艺系统技术改进、参数调整 5 改造目标：提高回收氢气质量、降低能耗、提升产品品质 关键词：多晶硅 尾气回收 工艺系统 技术改进 二、引 言 改良西门子法制备多晶硅生产过程中，尾气回收装置大多采 用美国CDI公司设计的尾气回收工艺控制，为适应目前多晶硅市 场激烈竞争的现状，降低生产成本和提高产品质量是保证企业 在同行业中处于领先位置的重要举措。这就需根据企业特性及 环境因素等对工艺系统进行技术改进，以达到提高产能，降低 成本，提升质量的目的。 二、引 言 多晶硅装置尾气回收的功能 1 根据尾气冷凝点不同对氯硅烷进行冷凝回收 2 通过吸收塔分离氯化氢中的氢气并回收利用 3 通过解析分离氯硅烷中氯化氢并分别回收利用 4 通过活性炭吸附柱净化氢气中的杂质、回收氢气 三、工艺改进方法、效果 提升质量 提高产能 降低成本 1 强化吸收塔吸收效果 1 增加吸附柱运行台数 1 用氢气压缩机代替隔 2 强化解析塔解析效果 膜压缩机回收吸附柱 3 增加吸附柱运行台数 再生氢气 三、工艺改进方法、效果 根据尾气回收装置技术改进总体思路，结合生产经验，我公司持续推 进各项技术改进，下面列举几种实施完成并效果较好的技术改进经验： 一）、强化吸收塔吸收效果 1、降低吸收塔喷淋液温度 吸收塔出口氢气中杂质含量吸收塔出口氢气中杂质 1.00 % 0.80 量 0.60 含 质 0.40 杂 0.20 0.00 吸收塔喷淋液温度℃ 通过运行数据收集对比发现，吸收塔喷淋液温度降低，可提升吸收效 果，降低吸收塔出口氢气中的杂质含量。 三、工艺改进方法、效果 2 、用纯SiCl 置换吸收液，提高吸收效果 4 多晶硅生产中尾气回收装置吸收塔吸收液是采用混合氯硅烷 （四氯化硅+三氯氢硅+二氯二氢硅），但实验数据研究表明， 氯化氢在纯四氯化硅中的溶解度比在混合氯硅烷中的溶解度高， 但由于尾气回收装置工艺特性，吸收塔吸收液中四氯化硅组分 在循环过程中会逐步减少直至达到恒定值，所以为提高吸收塔 吸收效果，通过现场技术改进，定期用四氯化硅置换吸收系统 中的吸收液，使吸收液中四氯化硅组分增加，强化吸收塔中对 氯化氢的吸收效果。 三、工艺改进方法、效果 二）、强化解析塔解析效果 解析塔作用：通过高温分离氯硅烷中的氯化氢，然后分别回收利用。 操作特点：在一定温度下，解析塔压力越低解析效果越佳、蒸汽消 耗越小，解析出的氯化氢气体需降温 （＜-30℃）冷凝成液体送至 下游工序，在冷凝过程中，低温会导致设备操作难度加大，设备管