硅晶生长高度测量.pdf

硅晶生长高度测量设备 目录 一． 简介 二． 技术参数 三． 安全规程 四． 安装要求 五． 设备调试 六． 操作使用 七． 维护与保养 八． 常见故障 九． 附件A 电气原理图 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 一． 简介 1．概术 硅晶生长高度测量设备主要用于测试硅晶高度的设备，首先将石英棒 固定到测量机构，通过测量机构的移动，当达到一定的阻力后，测量 机构返回，同时测量出硅晶的高度。 2 ．设备整体结构 3. 设备主要部份 序号 功能 1 测量机构 2 电气控制系统 4.动作流程 首先测量机构回到初始位置，启动后测量机构开始移动，当移动过 PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 程中与到阻力大时，测量机构返回初始位置。 二.技术参数 本章节主要描述了设备总的性能和设备的要求 1.名牌 设备名称: 硅晶生长高度测试设备 制造日期: 2010/ 12 制造商: 苏州禹石自动化工程技术有限公司 设备编号: MT10003 2.设备特性 a.外观 外形尺寸:350X200X 1500 设备重量:50KG b. 电源 供电源:220V 10%+GROUND 50HZ 电流: 10A 10% c.气源 压力: 5-7Bar 3.设备类性 a.硬件部分 设备的运行主要由PLC 控制的 制造商: OMRON 型号: CP 1E PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建 输入: 24 点DC 输出: 16 点DC 三.安全规程 这章节主要对设备安全方面的描述.必须具备安全方面的培训才可 以操作或者维修此设备, 以便于正确的操作和维修 1.安全要求 所有操作者和维修人员在使用设备前必须经过安全方面的培训,接 收培训后要完全理解以下内 : ※ 设备本身和加工过程 所可能发生化学或物理特性的危害 ※ 如何预防这些危害和当发生时, 如何保护自己 2.危害方面 化学 电气 机械 气压 放射性 热量 声音