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精度设计后两个实验指导书
精密测量实验指导书
陈伟
西安交通大学
机械工程学院仪器科学与技术系
2007-7-13
PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建
实验一
实验项目名称:量块的使用与检定
1、实验目的:
1)熟悉量块的使用方法;
2 )掌握在接触干涉仪上测量量块中心长度及长度变动量的方
法;
3 )了解量块级和等的概念;
4 )了解尺寸传递系统。
2 、实验任务:
1)了解接触干涉仪原理;
2 )处理测量结果,并确定被测量块的等和级。
3、实验内容:
用接触干涉仪按被检量块的检定要求标定被检量块的等级。
4 、实验用的主要仪器:
标准量块:标称长度30mm、0 级、3 等;被测量块
接触干涉仪、立式光学计
5、原理及方法:
如图 1 所示。从光源 1 发出的白光经聚光镜2 聚集,经滤光
3 投射到分光镜4 上,分光镜4 将光分成两束,分别投射到位
图1
1
PDF 文件使用 pdfFactory Pro 试用版本创建
置相互垂直的反射镜12 (测量镜)、14 (参考镜)上。借助于补偿
镜13,使由分光镜表面到反射镜12 的光线,在其所经路程上的光
学条件与投射到反射镜 14 路程上的光学条件相同。由12、14 反
射回来的两束光相遇产生干涉,通过物镜5、目镜8 可在视场中观
察到干涉条纹和分划板 6 上的刻度。为便于观察,目镜可绕轴 7
转动。反射镜12 固定在量杆11 上,于量杆仪器沿量杆轴线上下移
动,10 为测帽,测量时与被测件9 接触。
如图2 所示。仪器标尺分度值i 大小,可转动十字螺钉2 予以
改变,它是通过改变干涉条纹宽度实现的。由于所采用单色光的
半波长是确定的,若干涉条纹变宽,则在视场中观察到的两条干
涉条纹之间所夹分划板6 (图1)的分度间隔数n 增多,而使标尺
l
的分度值 变小。若令干涉条纹间隔数为m ,则有m ni ,即
i
2
l m
n ;
2 i
图2 立式接触干涉仪结 示意图
6、实验过程与步骤:
1.按被检量块的标称长度选取所需相应标称长度的标准量块,用
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