圆排车真空曲线在线检测专用课件.ppt

圆排车真空曲线在线检测 马小兵 2008-12-31 圆排车真空曲线在线检测 一、检测系统简介； 二、操作步骤； 三、曲线分析； 四、故障排除； 五、设备维护。 圆排车真空曲线在线检测 一、检测系統简介 将Inficon公司的“电容薄膜与电阻复合真空传感器”，安置在圆排车的油捕集器处，利用它测出圆排车各工位的真空度和洗Ar压力变化；传感器输出的模拟电压信号，通过数显真空计同时实现电压信号的模数转换、电压与真空度的物理量转換和真空度显示等三项功能；真空度数字信号输入电脑后，利用专门的软件生成真空度与时间的关系曲线；该曲线又可利用电子表格方式作成真空度与相应的排气工艺及真空泵配制相关的实用曲线。 圆排车真空曲线在线检测 圆排车真空曲线在线检测 二、操作步骤 1、将相关仪器和部件（主要指手提电脑、 数显真空计、真空传感器、电缆线和“RS232-USB2.0转換线”等）取出； 2、先将电缆线的两端分别与真空传感器及数显真空计相连，再将真空计的输出端（RS232口），通过“RS232-USB2.0转換线”，连接到电脑的com1串行端口上，先后打开电脑中“本检测系统界面”和真空计电源，在完成一系列的设置后，在大气压下，真空计与“本检测系统界面”的真空度窗口均应显示9.9×104 Pa，说明全系统信号巳接通； 3、将连有电缆线的传感器小心地从圆排车的外部装上圆排车特定的油捕集器上，按下电脑中检测系统界面上的“记录”按钮再开启圆排车的“转动”开关，本系统开始工作； 4、此后，就可在“沒有灯管排气”和“有灯管排气”的情况下，分别测得相应的真空曲线并先后将它们“保存”下来。 圆排车真空曲线在线检测 示意图 圆排车真空曲线在线检测 软件操作步骤： A、打开软件后，点击软件启动。 状态栏由： 变为 B、完成一系列设置后，在开始工作时点击“ 记录”按鈕，开始记录曲线；若按下 “终止”按钮后，停止记录曲线。 C、根据需要，将生成的曲线调整到合适的比例。 圆排车真空曲线在线检测 D、点击“保存历史曲线”按钮保存曲线数 据。 E、退出软件，点击 ，然后 点击 。 圆排车真空曲线在线检测 三、曲线分析 A图 正常曲线（不带灯测试） 圆排车真空曲线在线检测 B图 异常曲线（不带灯测试） 圆排车真空曲线在线检测 C 图 异常（Ar冲洗压力不足） 圆排车真空曲线在线检测 D 图 正常（维护后，Ar压力正常）（注：由于该园排车采用一台泵共抽几个工位造成有些小峰。） 圆排车真空曲线在线检测 数据分析： A 图： 在“空载”下测得的，正常曲线。 B 图： “ 空载”测试时 ，异常曲线。分解部分的曲线应该呈下滑趋势（因此工位没接灯管），而图中出现一个异常点，说明这个工位出现了问题，分为两种可能： 1、这个工位的管道可能出现漏气； 2、这个工位的真空泵可能有问题。 解决办法：我们可以先查管道是否有漏气？如果确认管道不漏，再更换真空泵试试。 圆排车真空曲线在线检测 C 图： C 图主要为Ar冲洗能力不足，导致冲洗没有明显效果。解决方法：检查电磁阀是否通电，或者管道堵死。 D图： D 图 正常曲线。Ar能够正常冲洗【注：由于该园排车用一台泵抽几个工位，因而造成有些小峰（“冲洗Ar”前后的抽气工位会出现Ar倒灌的现象）；有些园排车是用一台泵抽一个工位（如图A、B所示）曲线就光滑了】。 圆排车真空曲线在线检测 四、故障排除 1、操作过程中，检测系统应尽量远离圆排车的“高频火花检漏器”，避免干扰。（干扰现象如图所示） 圆排车真空曲线在线检测 2、测试过程中，不能断开电源及连接端口，可能会引起曲线失真。 3、测试过程中，如果启动软件，信号无法进入（真空度窗口显示1.0×10-2），检查与电脑连接的导线是否短路，真空计与电缆线、导线是否断开。 4、数显真空计显示出现跳跃或熄灭，或者出现蜂鸣报警，请检查导线自身是否短路。 圆排车真空曲线在线检测 5、测试中，数显真空计显示值忽然变成1.0×10-2,即表示真空计与导线端口断开,需要将导线端口重新插入真空计. 6、测试时，数显真空计的供电电源不能和圆排车共用，要单独供电。否则，数据传输会因供电电源网路中出现的干拢而不稳定。 7、测试完毕后，保存曲线时，不要更改文件名，按系统自动命名保存。 圆排车真空曲线在线检测 五、设备维护 1、导线短路或者断开解决方法. 重新连接导线,避免导