光刻工艺及设备培训.pdf

训 n c 培 . c - a 备 . o 设 台 n a 平 n F及 工 i 加 s . f 艺 f n s 工 / / F : p 刻 t t 光 h N S - - 以 相 底 F 到 照 相 制 与 照 复 理 了 形 原 替 图 其 代 的 F 上 。 胶 介 版 上 刻 圆 光 简 膜 晶 与 刻 掩 的 圆 N 在 入 晶 光 作 注 体 制 子 导 把 离 半 S 是 和 是 。 质 蚀 的 层