- 1、本文档共72页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
厦门大学材料学院考研复试材料测试方法08TEM
第二章
电子显微分析
Electron Micro-Analysis
第三节 透射电镜(TEM )
透射电子显微镜是以波长很短的电子束
做照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种具有
高分辨本领,高放大倍数的电子光学仪器。
测试的样品要求厚度极薄(几十纳米),以
便使电子束透过样品。
发展历史
※在电子光学微观分析仪器中,透射电镜历史久,
发展快,应用范围也最广泛
※1932-1933,Ruska等制备第一台透射电子显微镜
后,透射电镜就已初步定型生产,并已达到分辨
率优于2nm的水平
※到40年代末, 透射电镜的主体己基本定型。
※由电子枪和两个聚光镜组成照明系统,产生一束
聚焦很细、亮度高、发散度小的电子束;由物镜、
中间镜和投影镜三个透镜组成三级放大的成像系
统; 给出分辨率优于lnm放大几十万倍的电子像。
透射电镜的发展带动了电子光学仪器和技术的发
展,在此基础上发展越来越多的高精尖仪器
透射电镜示意图
一、仪器结构
透射电子显微镜由三大部分组成:
电子光学系统,
真空系统
供电控制系统。
电子光学系统,又称镜筒,是电子显微镜的主体。
1、电子枪 2、聚光镜 3、物镜、中间镜和投影镜
4 、消像散 5、荧光屏、照相系统 6、样品室
CM200-FEG场发射枪电镜
加速电压20KV 、40KV 、80KV、
160KV、200KV
可连续设置加速电压
热场发射枪
晶格分辨率1.4Å
点分辨率2.4Å
最小电子束直径1nm
能量分辨率约1ev
倾转角度α ±20度
β ±25度
JEM-2010透射电镜
加速电压200KV
LaB6灯丝
点分辨率1.94Å
JEM-2010透射电镜
加速电压200KV
LaB6灯丝
点分辨率1.94Å
EM420透射电子显微镜
加速电压20KV 、40KV 、60KV、
80KV、100KV、120KV
晶格分辨率2.04Å
点分辨率3.4Å
最小电子束直径约2nm
倾转角度α ±60度
β ±30度
Philips CM12透射电镜
加速电压20KV 、40KV 、60KV、80KV
文档评论(0)