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第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２７ １０ 犞狅犾．２７ 犖狅．１０ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００６ １０ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋．２００６ 犓狌波段２０犠 犌犪犃狊功率犘犎犈犕犜  钟世昌 陈堂胜 　 （南京电子器件研究所，南京 ２１００１６） 　 摘要：报道了采用介质辅助 型栅工艺研制的 功率 在该 型栅工艺中栅长和栅帽的尺寸分别进 犜 犌犪犃狊 犘犎犈犕犜． 犜 行控制，实现了较好的工艺可控性和较高的工艺成品率 采用该工艺制作了总栅宽为 的功率 用 ． １９２犿犿 犘犎犈犕犜． 两枚这种芯片合成并研制的 波段内匹配功率管在 频带内，输出功率大于 ，功率增益大于 犓狌 １４０ １４５犌犎狕 ２０犠 ～ ６犱犅，典型功率附加效率为３１％． 关键词： 型栅； ； ；内匹配 犜 犌犪犃狊 犘犎犈犕犜 ： 犈犈犃犆犆 ２５６０犛 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖３８６ 犃 ０２５３４１７７２００６１０１８０４０４ 　　　 　　　 宽管芯的内匹配电路设计和实现以及研制出的犓狌 １ 引言 波段 犌犪犃狊内匹配功率管的微波性能． 　 犌犪犃狊微波功率器件在相控阵雷达、微波通信 ２ 犌犪犃狊功率犘犎犈犕犜管芯工艺 　 系统等领域发挥着重要作用．犌犪犃狊微波功率器件 的主要 结 构形 式 有 功率 单 片微 波集 成 电路 研制大功率 ＧａＡｓ内匹配功率管，大栅宽管芯 （ ）、内匹配功率管和采用 功率管管芯 的研制是核心 本项研究采用的 管芯合成方案充 犕犕犐犆 犌犪犃狊 ． ２ 研制的功率放大模块三种结构形式 尽管 功 分体现了这一技术的发展趋势，也为今后 管芯及 ． 犌犪犃狊 ３ 率 犕犕犐犆有体积小、一致性高等优势，但其研制成