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EBSD样品制备技术
The Business of Science®
第四讲
EBSD 样品制备技术
© Oxford Instruments 2012 CONFIDENTIAL Page 1
前 言 The Business of Science®
影响EBSD 花样质量的因素
1 样品表面质量： 干净，平整，无抛光引入的变形
2 样品状态形变、再结晶？样品中包含何种元素？
3，仪器状态：电镜参数（ 高、低电压？大、小电流束？）
4，软件参数调节： 曝光时间，噪音去除
© Oxford Instruments 2012 CONFIDENTIAL Page 2
The Business of Science®
样品表面状态对于EBSD观测的影响
Ni 的样品表面，1200 grit砂纸 没有EBSD花样
（1200 grit 砂纸的粒度是 5 um左右）
© Oxford Instruments 2012 CONFIDENTIAL Page 3
样品制备过程中EBSP的变化
样品制备过程中EBSP的变化 ®
The Business of Science
Ni 的样品表面，抛光5分钟后 没有EBSD花样
（使用3um多晶金刚石抛光剂）
© Oxford Instruments 2012 CONFIDENTIAL Page 4
样品制备过程中EBSP的变化 ®
The Business of Science
Ni 的样品表面，抛光10分钟后 隐约可见EBSD花样
（使用1 um氧化铝抛光剂）
© Oxford Instruments 2012 CONFIDENTIAL Page 5
样品制备过程中EBSP的变化 ®
The Business of Science
Ni 的样品表面，抛光10分钟后
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