H-7650日常操作与维护.PDF

H-7650 日常操作与维护 天美公司2010年6月H-7650用户培训 开机步骤  1.分别合上配电盘电镜主机开关和循环水开关。  2.开启UPS，按住UPS主机箱ON两秒以上，UPS即可开 启。  3.将循环水CA-2600的POWER开关推至ON，此时面板 上会显示P。OFF，需按一下SET按钮。开启后面板指 示PUMP灯应该亮;循环水水温设置在20℃，高于20℃ 面板指示制冷灯Refrigerator应该亮。  4.将循环水CA-1120的POWER开关推至ON位置，面板 上PUMP，制冷指示灯REFRIGERATOR应该亮。  5.将TEM钥匙开关由OFF旋至EVAC ON此时抽真空绿灯 闪烁然后将钥匙开关旋至COL ON，电脑启动。  6.等待大约30分钟，待EVAC灯不再闪烁时表明高真空 已经抽好，可以准备观察样品。 关机 1.首先断高压，HV→OFF 2.将TEM钥匙开关由COL ON旋至EVAC ON待LED显示 器完全关闭后将钥匙开关旋至OFF 3.等待大约30分钟待黄绿灯全灭关循环水。 4.断UPS电源，按住UPS主机箱OFF两秒以上即可关闭 UPS。 5.断配电盘电源。 真空系统 真空系统 电子光路系统 电镜对中 电镜的对中分为：照明系统对中和成像系统对中 照明系统对中包括：1.灯丝像的调试 2.聚光镜光阑对中 3.聚光镜消象散 4.光斑对中 成像系统对中包括：1.物镜光阑对中 2. 电压中心调整 3.物镜消象散 4. 图像对中（IA的调整） 照明系统对中（灯丝像的调试）  1．降低灯丝电压，使荧光屏上出现灯丝的不饱和像。  2．调节电子枪的倾斜（GT ）旋钮，使之出现灯丝的不饱和像：正中 为一椭圆，两边有大小间距对称的月牙形亮斑。  3.调节电子枪平移（GH ）使灯丝像在荧光屏的正中间。  4.缓慢加大灯丝电流，直至灯丝的不饱和像成为一个亮斑，亮斑中间 没有阴影时即为灯丝的饱和点。当饱和像出现后，再略微的降低灯丝 电压，使灯丝像略微的不饱和，其优点是能大大提高灯丝的寿命。 照明系统对中（聚光镜光阑对中）  调节电镜亮度控制旋钮（BRIGHT），观察光斑是否呈 同心圆大小变化，若不是，调节聚光镜光阑，同时调节 亮度控制旋钮，直至光斑呈同心圆变化。 照明系统对中（聚光镜消象散） 调节亮度控制旋钮（BRIGHT），观察光斑是否有拉伸变 形，利用消象散器（CS按钮）调整，直至光斑呈同心圆 大小变化。 照明系统对中（光斑对中）  调节电子枪平移旋钮（BH）使得各个spot size的光斑均在 荧光屏的中央。  一般来讲，对中方法：spot size No.5时，将BH至零，然 后用GH将光斑调至荧光屏中心，其余的spot size 使用BH 将光斑调至荧光屏中心 成像系统对中（物镜光阑对中） a ．当电镜整体对中（包括聚光镜，物镜，中间镜，投影镜电子和 机械对中）极为准确的情况下，可在低放大倍数（一般为几千 倍）时，调整物镜光阑，使得荧光屏看不到物镜光阑孔的遮挡 为止。 b．采用DIFF模式，将电子束打在样品膜上产生衍射环，如果衍射 斑点不在荧光屏的中心，可以使用ＰＡ将衍射斑点调整至荧光 屏中心。调整物镜光阑使衍射斑点处于物镜光阑孔的中心。 成像系统对中（电压中心调整）  如果是聚焦的过程中发现图像偏离中心在移动，一般 是电压中心调整不好，需要做电压中心的调整。  方法： 按下电压中心调整按钮（MODU），选择一参照物，观 察参照物是否不动或者是参照物在不改变位置的闪动。 如参照物是在晃动，则需做电压中心调整，调节多功 能旋钮，直至参照物不动或者是不改变位置的闪动为 止。