纳米复合超硬薄膜中与界面有关的弛豫现象-物理学进展.pdfVIP

第 卷 第 和 期 物 理 学 进 展 ， ２６ ３ ４ Ｖｏｌ．２６Ｎｏ．３ａｎｄ４ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００６ ９ ＰＲＯＧＲＥＳＳＩＮＰＨＹＳＩＣＳ Ｓｅ．２００６ 　 ｐ 文章编号： （ ） 、 １００００５４２２００６０３０４０３０９０５ 纳米复合超硬薄膜中与界面有关的弛豫现象 １） １） １） ２） ３） 方前锋 ，刘 庆 ，李朝升 ，李世直 ， ＶｅｒｅｋＳ． 　 ｐ （ 中国科学院固体物理研究所，材料物理重点实验室，合肥 。 １． ２３００３１ ２．青岛科技大学，山东 青岛 ２６６０４２； ， ， ， ） ３．ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｆｏｒＣｈｅｍｉｓｔｒｏｆＩｎｏｒａｎｉｃＭａｔｅｒｉａｌｓ ＴｅｃｈｎｉｃａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔＭｕｎｉｃｈ Ｄ８５７４７ Ｇｅｒｍａｎ ｙ ｇ ｙ ｙ 摘 要：利用内耗技术研究了ＴｉＳｉＮ系列纳米复合超硬薄膜的结构弛豫和硬化机理。当共振 　 　 频率大约在 １００Ｈｚ时在 ２３０ ２８０℃范围内观察到一个弛豫型的内耗峰。计算出激活能为 ０．７ ～ ～ ，弛豫时间指数前因子为 －１０ －１２秒。对比一系列样品，发现硬度越高内耗峰越低，在 １．０ｅＶ １０ ～１０ 硬度高于 ５０ＧＰａ的薄膜中没有内耗峰。内耗峰随退火温度升高而不断降低，直至 ６００ ７５０℃退 ～ 火时消失，并且杨氏模量开始增加，这跟样品退火后硬度增长是一致的。结果表明内耗峰来源于 样品中界面的弛豫过程。 关键词：超硬薄膜； ；内耗；界面 ＴｉＳｉＮ 　 中图分类号：Ｏ４８４ 文献标示码： Ａ 　 　 　　　　　　　　 ０ 引 言 　 　 以ＴｉＮ为代表的硬质薄膜已经在精密切削刀具等方面得到了广泛的应用。但单纯的 ［］