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压电晶体位移特性曲线干涉自动测量方法-光子学报
27 2 V o 1. 27 N o. 2
199 8 2 A CT A PH OT ONI CA SINI CA F ebruary 199 8
朱日宏 王 青 陈 磊 陈进榜
( , 210094)
本文提出了压电晶体( PZT ) 位移物 曲线自动干涉测量方法, 方法利用干涉仪把
PZT 的微位移量转化成干涉条纹相位变化量, 通过快速傅里叶变换( FFT ) 方法自动复原干
涉条纹中包含的相位的变化量, 从而高精度地检测出PZT 的位移特性曲线根据 方法,
利用CCD 摄象机图象板和干涉仪组合成 一套光机电一体化的微位移自动测试系统, 实
际测量了我们研制的PZT 随电压变化的位移特性曲线 实验表明, 方法原理实现简单,
且能实现高精度自动实时和动态测量
干涉仪 压电陶瓷 快速傅里叶变换
0
( P ZT )
1 2
,
001m PZT
, PZT
,
PZT ,
PZT
PZT , 1 PZT
, F ig. 1 Schem atic diagram of measur em ent of the
PZT character istic curve of PZT displacem ent
PZT , ( FFT )
, PZT , PZT F FT
3
, ,
PZT PZT ,
, PZT , PZT
1 PZT
11 PZT
PZT PZT PZT , PZT
, PZT 1 P ZT
江苏省青年基金资助项目
收稿日期: 1997- 04 - 28
2 181
, PZT , T PZT , R T
, CCD ,
,
1 , PZT T , PZT
R T , , P ZT , 2 PZT
, PZT
2 , 4
i ( x , y , l ( v ) ) = a( x , y ) + b( x , y ) cos[ 2(f x + f y ) + ( x , y ) + 4l ( v )/ ] ( 1)
x y
a ( x , y ) , b ( x , y ) , ( x , y ) , f x , f y
R X Y , ( x , y ) , l ( v ) PZT
, ( 1) , PZT l ( v ) , PZT
1 , PZT ,
CCD , PZT , PZT ,
CCD
,
( 1)
PZT ,
,
PZT l ( v )
12 PZT ( FFT )
PZT l 2
( v ) , 2 , CCD X
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