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　　简析传感器论文资料 简析传感器论文资料_ZigBee无线传感器论文中英文资料对照外文翻译文献综述导读：阅读人次：32发布时间：2011-11-17王爱华谢长生摘要：阐述子金属氧化物微气体传感器制备技术的必威体育精装版研究进展，介绍了气体传感器的气敏膜表面化学处理、气氛沉积、复合气敏膜、热氧化成膜技术、异形电极技术、显微铸造微传感器阵列技术和溶胶-凝胶提拉成膜技术，分析了各自的特点，并提出了存在的问题和今后的发展方向。关 二氧化锡电级 二氧化锡（SnO2）电极广泛应用于高档光学玻璃的熔炼以及电解铝行业，二氧化锡电级尤 其适用于火石类玻璃、钡火石、钡冕，以及重冕玻璃等的熔炼，且对玻璃不产生污染。 此项 成果已通过河南省科技厅组织的专家鉴定， 整体性能指标在国内处于领先水平， 二氧化锡电 级主要指标已达到国际先进水平。 SnO2 电极性能技术指标 1、体积密度 2、抗弯强度 室 温 1155kg/cm2 1000℃ 641kg/cm2 1200℃ 166kg/cm2 1400℃ 95kg/cm2 3、电阻率 室 温 93 400℃ 6.1000 600℃ 1.4000 800℃ 0.0200 900℃ 0.0150 1000℃ 0.0098 1100℃ 0.0084 4、抗钠钙玻璃侵蚀速率 (mm/h) 1000℃ 0.53 x 10-3 1100℃ 0.63 x 10-3 5、热膨胀率 (1200℃ ) 0.69% SnO2 为 N 型半导体结构,是一种优良的气敏和湿敏材料.介绍了纳米 SnO2 的主要用途以 及电弧气相法、溶胶-凝胶法、水热反应法和机械化学法等制备技术,探讨了 SnO2 的气敏机 理,包括晶体尺寸效应和掺杂效应,并指出了纳米 SnO2 的发展前景. (Ω· cm) 6.38-6.58g/cm3 采用共溶溶胶凝胶法及半透膜渗析技术,合成 SnO2 纳米粉体.采用旁热式结构,制成了 Al2O3(Pt)修饰 SnO2 双层膜的气体传感器.通过 rEM、SEM 分析方法分别对 SnO2 粉体、 敏感膜以及 Al2O3(掺质量分数 3％Pt)表面催化层的表面形貌进行观察和表征.实验结果表 明,Al2O3(掺质量分数 3％Pt)修饰 SnO2 双层膜气体传感器对甲烷有好的选择性和较高的灵 敏度,在 Φ(CH4)=5×10-3 时灵敏度最高可达到 5 以上. 金属氧化物微气体传感器制备技术的研究进展 ：柏自奎 阅读人次：32 发布时间：2011-11-17 王爱华 谢长生 摘 要：阐述子金属氧化物微气体传感器制备技术的必威体育精装版研究进展，介绍了气体传感器 的气敏膜表面化学处理、气氛沉积、复合气敏膜、热氧化成膜技术、异形电极技术、显微铸 造微传感器阵列技术和溶胶-凝胶提拉成膜技术，分析了各自的特点，并提出了存在的问题 和今后的发展方向。 关键词：金属氧化物；气体传感器；制备；选择性；稳定性 0 引 言 金属氧化物气体传感器作为“气—电”信息转换器件，实现对气体的检测和生产过程控制，同 其他方法相比，具有快速、简便等优点，有广阔的应用前景。 但随着现代工农业及信息技术 的发展，人们对气体的检测不再满足于监控和报警，而提出了更高的要求，不仅具有定性判 别，还要具有定量指示功能。 如，用于空气质量检测，食品、香精、香水的质量评定及生产 过程控制等，对金属氧化物气体传感 5 6 简析传感器论文资料_ZigBee无线传感器论文中英文资料对照外文翻译文献综述(2)导读：2氧化为CuO，当气敏膜中CuO的质量分数为3.68％时，元件对H2S具有很高的敏感性，灵敏度由SnO2-ZnO厚膜的240提高到6x104，最佳工作温度由起始的250℃下降到150℃，响应时间由30min降低到15s恢复时间为7～8min,Cuo的含量是提高元件气敏性能的关键参数。机理分析认为：当CuO的质量分数为3.68％时，提供了足够的 器也提出了更高的要求，除了高的敏感性，还需要高的 气敏选择性、稳定性。 为了解决这一问题，自 20 世纪 60 年代以来，人们开发了 SnO2， ZnO，Fe2O3，In2O3 等多种材料体系，新材料的开发无疑是十分有意义的工作。 但气敏材 料的气敏性能如何充分发挥出来， 则是另一个重要课题——气体传感器的制备技术。 近年来， 掺杂、成膜、热处理、结构等都引起了广泛的关注，本文将从提高传感器的气敏选择性、稳 定性角度， 述评最近几年国内外气体传感器制备技术的有关文献， 并提出了存在的问题及今 后的发展方向。 1 微气体传感器的制备技术 金属氧化物气敏元件属于表面电阻控制型， 即利用表面电阻的变化检测各种气体， 其工作原 理是： 在空气中氧分子吸附在金属氧化物半导体的表面， 并从其表面获得电子而形成化学吸 附的 O2-，O-，O