微细电解加工的过程检测及精度控制-中国机械工程.PDF

微细电解加工的过程检测及精度控制———张朝阳 毛卫平 陈 飞等 暋 暋 暋 [] 4 。 。 加工领域的重要发展方向 纳秒脉冲微细电解加 进电机驱动做平面运动 为实现精确微量的进给 , , 、、 “ 工的加工间隙只有几微米 与常规电解加工数百微 运动要求 XY Z三个方向的加工运动采用 电 , 米或几毫米的加工间隙有显著差别 如采用上述测 暠 机驱动器 步进电机 滚珠丝杠副 的驱动方 - - 。 控方法会产生很大误差 德国科研人员采用了电化 。 式 所使用的两相混合式细分电机驱动器可对控 , 学测试系统的三电极体系 利用参比电极和辅助电 制信 号进行 /、/、/、/ 、/ 、/ 细 121418116132164 , 极检测电极电位来控制电化学反应过程 该试验系 。 , 分 步进电机的步距角为 1灡8曘丝杠的导程为 , 。 统较为复杂 不适于加工应用 。 / , 1mm 当驱动器的细分模式设置为164时 进给 、 本文针对超短脉冲电解加工极间间隙小 加 运动的分辨率即每步进给量为 , 工过程的稳定性和加工精度难以控制的问题 根 1.8曘 1 1000m暳 暳 =0.078125m 毺 360曘 64 毺 , 据微细电解加工的特点及要求 构建了微细电解 步进电机后端的伸出轴上安装有光电编码器作为 , 加工的检测及控制系统 设计了 LabVIEW 加工 , , 位置传感器 可实时反馈运动和速度信号 并由控 , 控制程序 采用霍尔电流传感器实时检测加工状 , 制程序及时输出相应指令