悬臂式压电双晶片振子夹持长度变化对其动态特性的影响-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棽 暋 椀 暋 斨旓旍灡棽棽暋斘旓灡椀 暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋 暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棿 椀 暋 暋 暋 斖斸灡棽棸棻棿 旟 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棿棸椀灢棻棽椆椂灢棸椄 悬臂式压电双晶片振子夹持长度变化 对其动态特性的影响 棳 棳 棻棽 棻灣 棻棽 棻 棻 棳 棳 棳 棳 程光明 李新辉 张海滨 曾 平 温建明 暋 棬 棳 浙江师范大学精密机械研究所 浙江金华 棻棶 棾棽棻棸棸棿 棳 棭 兰州交通大学机电工程学院 甘肃兰州 棽棶 椃棾棸棸椃棸 椇 暘暘暘 棳 摘要 以惯性压电驱动器的关键部件 悬臂式压电双晶片振子为研究对象 探讨了悬臂式压电双晶片振子的夹持长度 暎 棳 暎 棳 变化对其动态特性的影响规律 首先 建立了悬臂式压电双晶片振子静态参数方程和动力学模型 然后 应用 旐斸旚旍斸斺 暎 棳 软件仿真分析了夹持长度变化对悬臂式压电双晶片振子的端部位移幅值和惯性加速度幅值的影响 最后 分别测试了 暎 椇 棳 悬臂式压电双晶片振子在不同夹持长度下的端部位移幅值以及惯性加速度幅值 结果显示 驱动电压为 棻棸斨频率为 棳 棳 棳 棻棻斎旡悬臂式压电双晶片振子的夹持长度在 椆暙棽棸旐旐内变化时 其端部位移幅值最大为 椂椂灡棽 旐 产生的惯性加速度 毺 棴棽 幅值最大为 暎 椇 棳 棳 棻棸灡棽旐旙 仿真和试验结果表明 激励电场相同时 随着悬臂式压电双晶片振子的夹持长度增大 其端部 棳 暎 位移幅值会变小 而其产生的惯性加速度会变大 椇