成大化工系HR-FESEM使用指导书.DOC

目 錄 1.目的 2 2.範圍 2 3.權責 2 4.參考資料 2 5.儀器介紹 2 6.操作程序 4 7.注意事項 9 . 1.目的 本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。 2.範圍 HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。 3.權責 3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。修訂方式亦同。 3.2本工作指導書供相關操作人員參考。 4.參考資料 捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。 5.儀器介紹  5.1 External view of JSM-6700F 5.2 General view of column 6.操作程序 6.1 開啟SEM OPE switch 6.2 打開SEM電腦主機螢幕 6.3 點選操作軟體視窗-- JEOL PC-SEM 6700(桌面) 6.4 確認SEM操作前步驟OK，檢視以下數值： a.氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力≥5Kg b.確認EDS及BEI detector已伸出chamber外 c.確認tilt位置在0 d.確認STAGE上WD在8mm及螢幕上WD在8mm e.確認STAGE歸至原位X=35.00、Y=25.00、R=0.00 (Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange) f.確認放大倍率縮至最小(250倍) g.確認加速電壓是否在10KV h.確認ROTATION 與BEAM SHIFT是否已歸位 i.確認Probe Current是否在7 j.確認EXCHANGE CHAMBER抽真空 EVAC燈亮 k.確認STAGE EXCH POSN燈亮 l.確認GUN VALVE close (橘色燈亮) 6.5 將樣品置入試片載台 a.試片大小需符合JEOL specimen holders，將試片處理完後放置於樣品holder上，試片高度不可超過樣品holder上方0.5公分，並確認試片已固定好。 b.洩真空，按SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER下方VENT鈕(約一秒鐘聽到“喀”一聲)，此時VENT燈開始閃爍，等到該燈不再閃爍後，將前室真空腔的扣型開關打開。 c.依holder上標示箭號將試片座放置於試片彈簧夾中固定，並用手將試片座前端輕輕下壓，同時檢查艙門之O-ring及電線，再關閉前室真空腔門。 d.抽真空，按CHAMBER EVAC (約一秒鐘，此時EVAC燈開始閃爍)，待EVAC燈停止閃爍後(此時前室真空腔和真空腔之間的閥門會打開)，將試片傳送桿拉下至水平，緩緩將試片座推入真空腔(此時HLDR燈會亮起)。 e.將試片傳送桿緩緩拉出到底卡住簧片後，再將其往上推使之歸位。 6.6 設定加速電壓及WD (依試片及實驗需求而定)。 6.7 檢視真空腔中的壓力(螢幕右上方按 )，等候PVG值達到9.63×10-5 Pa。 6.8 按HT ON(由藍色轉變成綠色)，待電流值達到設定值(一般設定值為10μA)。 6.9 將GUN VALVE打開(輕按一下主機下方的GUN VALVE，約五秒後燈熄滅)，Gun和真空腔中的閥門即會打開。 6.10 調整影像 a.先切換至Low Mag模式下找尋試片正確位置，將倍率調到25倍利用移動搖桿找到試片位置後，再將Low Mag模式取消。 b.用搖桿控制x、y位置或使用滑鼠右鍵點選位置到螢幕中心。 c.調整聚焦及像差至影像清楚(先切換到較高倍率，反覆調整焦距及像差x、y，直至影像清晰後再切回所需之倍率，可使用自動調整亮度及對比ACB或手動調整亮度、對比至較佳影像，若放大倍率會有影像變形的情況發生，應先調整FOCUS再調整像差x、y直到影像完全清楚)。 6.11 傾斜觀察： 根據試片使用的holder size及STAGE上的WD查詢對照表調整tilt角度， 不可超過上限規定。 6.12 BEI觀察： a.確認tilt=0、WD不得低於8mm。 b.將GUN VALVE關閉。 c.按RBEI(視窗右上方)，約3~7秒BEI detector會自動進入chamber，此時視窗上RBEI燈號會轉變為綠色，約1分鐘後重新打開GUN VALVE。 d.影像調整至清楚狀態(在SEI或LEI模式下)，再點選Image Selector TOPO or COMPO orADD之畫面疊加功能，再進行FINE VIEW。 e.調整亮度及對比，若訊號太弱，則增加Probe Current(ㄧ般設定值為10)。 6.13 儲存影像 a.按FINE VIEW(有二段包括快掃及慢掃，可依需求自行選擇)，若經FINE VIEW後為可接受影像，按F