无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制-表面技术.PDF

第43卷摇 第5期 摇 摇 摇 表面技术 摇 摇 2014年10月 SURFACE TECHNOLOGY ·61· 試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試試 无磨料复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制 1 1 2 1 李炎 ,刘玉岭 , 卜小峰 ,孙铭斌 , 1 1 1 1 杨志欣 ,张男男 ,张玉峰 ,程川 (1.河北工业大学 微电子研究所,天津300130; 2.慕思寝室用品有限公司,广东 东莞523000) 摘摇 要: 目的摇 研究一种复合清洗剂对铜膜表面腐蚀缺陷的控制效果。 方法摇 通过单因素实验优化无 磨料复合清洗剂组成和相应的清洗工艺,并通过研究优化的清洗条件对不同类型铜晶圆表面划伤、残留 颗粒的清洗效果,验证该清洗剂的清洗性能。 结果摇 优化的清洗剂组分和清洗工艺为:金属离子螯合剂 体积分数0.025%,表面活性剂体积分数0.1%;清洗剂温度30 益,清洗剂流量3 L/ min。 优化的复合清 洗剂能大幅度降低铜膜表面划伤和表面粗糙度,对铜膜表面残留的颗粒有较强的去除作用。 结论摇 优化 的复合清洗剂能够对不同类型铜晶圆表面缺陷进行大幅度的修正,研究成果对提高大规模生产中晶圆的 成品率有一定的指导作用。 关键词:复合清洗剂;大分子螯合剂;表面活性剂;铜膜;腐蚀速率 中图分类号:TG175摇 摇 摇 文献标识码:A摇 摇 摇 文章编号:1001鄄3660(2014)05鄄0061鄄05 Regulation of the Surface Defects of Copper Films by Abrasive鄄free Composite Cleaning Agent 1 1 2 1 1 LI Yan ,LIU Yu鄄ling ,BUXiao鄄feng ,SUN Ming鄄bin ,YANGZhi鄄xin , 1 1 1 ZHANGNan鄄nan ,ZHANG Yu鄄feng ,CHENG Chuan (1.Institute of Microelectronic Technique and Materials,Hebei University of Technology,Tianjin300130,China; 2.Musi Limited Company of Bedroom Supplies,Dongguan523000,China) ABSTRACT:Objective To study the controlling effect of a composite cleaning agent on the surface corrosion defects of copper film. Methods Through the singlefactor experiment,the composition ratio and corresponding cleaning process of the abrasiv