电子材料连水养SYLien电浆的基础原理制程与应用.PDF

電子材料 Electronic Materials 電漿的基礎原理 、製程與應用 務必好好研讀 ，懂電漿就不怕沒工作 ！ 連水養 (S. Y. Lien) 此章節部分內容摘錄於Hong Xiao, Ph. D.之投影片 1 懂電漿就不怕沒工作 ！ 電漿反應器普及而廣泛的應用到各種元件的製造 ， 例如電腦晶片 、記憶體 、硬碟 、電晶體 、光碟、液 晶顯示器 、電漿顯示器 等。另外電漿技術也應用在 航太機械 、高分子工業和環保污染防制上 ，例如 光學元件的鍍膜 ；提高模具使用壽命的抗磨耗膜 ； 不織布 、光學塑膠或玻璃的表面處理 ；微感測器的 製造 ；微機械的加工 ；人工關節、骨骼及人工器官 的抗磨耗膜 ，生醫材料的表面處理等，皆需要仰賴 電漿技術 ，所以電漿技術的開發對這些產業的發展 具有相當的影響。 2 討論的主題 ： •什麼是電漿? •為什麼使用電漿? •離子轟擊(ion bombardment) •電漿製程的應用 •學習半導體製程技術中你會遇 到的問體討論 3 電漿製程的應用 •化學氣相沉積 (CVD) •蝕刻 (Etching) •物理氣相沉積(PVD) •離子佈植(implant) • 光阻剝除(PR leave-off) •製程反應室的的乾式清洗(Cleaning) 4 電漿是什麼 ?  具有等量的正電荷和負電荷的離子氣體 更精確的定義 :電漿就是有著帶電與中性粒 子之準中性的氣體 ，電漿本身就是這些例子 的集體行為 例如  太陽,焰火,氖光 , 等 （電漿是一團會發光的東西 ） 電漿是離子化的離子氣體 ，電漿有顏色是因為 ” 輝光效應所造成的” ，不同氣體形成的電漿 ，所 呈現的顏色就不一樣 ！ 5 電漿的成分 電漿是由中性原子或分子 、負電 電子( )和正電(離子所構成) 準中性- : n n i e  游離率: h n /(n + n ) e e n 6 游離率 游離率主要受電漿中的電子能量決定 大部分電漿製程反應室，電漿的游離 率小於0.001%. 高密度電漿 (HDP)源的有較高的游離 率, 約1% 太陽核心的游離率約~100%. 7 中性氣體密度 理想氣體 4 3  1摩爾 = 22.4 升= 2.2410