透射电镜客户培训.pdf

JEM-2100培训资料 JEM-2100培训资料 制作：姚宁 制作：姚宁 马宁 马宁 第一篇 透射电镜系统解析 第一篇 透射电镜系统解析 系统解析分类 系统解析分类 真空系统 真空系统 高压系统 高压系统 电子光学系统 电子光学系统 特殊功能应用 特殊功能应用 第一章 真空系统 第一章 真空系统 机械泵解析 机械泵解析 扩散泵解析 扩散泵解析 离子泵解析 离子泵解析 抽真空时序解析 抽真空时序解析 真空规解析 真空规解析 1. 机械泵解析 1. 机械泵解析 工作过程： 吸气—压缩—排 工作过程： 吸气—压缩—排 气。 气。 机械泵油起润滑，密封和堵 机械泵油起润滑，密封和堵 塞缝隙的作用。 塞缝隙的作用。 机械泵不工作时，应使进气 机械泵不工作时，应使进气 口处于大气状态，以防止返 口处于大气状态，以防止返 油。 油。 由于极限压强较高， 常用做 由于极限压强较高， 常用做 前级泵(预抽泵)。 前级泵(预抽泵)。 旋转机械泵剖面图 2. 扩散泵解析 2. 扩散泵解析 工作过程：油蒸发—喷射—凝结， 工作过程：油蒸发—喷射—凝结， 重复循环 重复循环 由于射流具有工作过程高流速(约 由于射流具有工作过程高流速(约 200米/秒)、高密度、高分子量 200米/秒)、高密度、高分子量 (300—500)，故能有效地带走气 (300—500)，故能有效地带走气 体分子。 体分子。 扩散泵不能单独使用，一般采用机 扩散泵不能单独使用，一般采用机 械泵为前级泵，以满足出口压强 械泵为前级泵，以满足出口压强 (最大40Pa)，如果出口压强高于规 (最大40Pa)，如果出口压强高于规 1. 水冷套； 2. 喷油嘴； 3. 定值，抽气作用就会停止。 定值，抽气作用就会停止。 导流管； 4. 泵壳； 5. 加热器 3. 离子泵(溅射离子泵)解析 3. 离子泵(溅射离子泵)解析 工作过程：气体分子电离－潘宁 工作过程：气体分子电离－潘宁 放电－离子轰击钛溅射－化学吸 放电－离子轰击钛溅射－化学吸 附及掩埋吸附分子 附及掩埋吸附分子 由于使气体分子电离并在阴极钛 由于使气体分子电离并在阴极钛 板上形成溅射并提供活性的钛金 板上形成溅射并提供活性的钛金 属进行1).化学吸附2).掩埋吸附 属进行1).化学吸附2).掩埋吸附 在阳极筒吸附分子以及阴极的边 在阳极筒吸附分子以及阴极的边 角部分的惰性气体分子，故吸收 角部分的惰性气体分子，故吸收 气体分子。 气体分子。 离子泵一般采用扩散泵作为前级 离子泵一般采用扩散泵作为前级 -3 -3 泵来提供10