功率肖特基二极管的制造技术.pdf

功率肖特基二极管的制造技术 目录 一、概述 二、芯片结构与工艺 三、前道技术 四、后道技术 五、ESD防护 六、新的发展 功率肖特基二极管的制造技术 概述 1. 什么是肖特基二极管 肖特基二极管：英文缩写SBD （Schottky Barrier Diode ），是以发明人肖特基博士 （W.Schottky ）命名。 肖特基二极管：是以金属为正极，以N型半 导体为负极，利用接触面上形成的肖特基势 垒具有整流特性而制成的金属-半导体两端器 件。 功率肖特基二极管的制造技术 概述 2. 肖特基二极管的结构 ＋ ＋ 金属 绝缘 介质 N － N ＋ － － 结构示意图 电路符号 功率肖特基二极管的制造技术 概述 3. 肖特基势垒形成原理 N型半导体的功函数小于金属的功函数; 当N型半导体与金属接触时，N型半导体中的 电子将向金属一边转移; 结果就造成半导体表面空间电荷区中有正电 荷，在金属表面（界面）上有负电荷，从而 产生一个由N型半导体指向金属表面的电场。 空间电荷区 金属 N型硅 E 功率肖特基二极管的制造技术 概述 4.肖特基二极管的特点 正向压降低：起始电压和正向压降都比PN结 二极管低（约低0.2V ）。 开关速度快：多子导电器件，反向恢复时间 只是肖特基势垒电容的充、放电时间，故开 关速度非常快，开关损耗也特别小，尤其适 合高频应用。 击穿电压低：肖特基反向势垒较薄，并且在 表面极易发生击穿，所以反向击穿电压比较 低。 功率肖特基二极管的制造技术 概述 5.SBD的应用领域 作为低压整流器件，应用于各种低压高 频开关电源，如稳压器、整流器、逆变 器、UPS等； 在非常高的频率下（如X波段、C波段、 S波段和Ku波段）用于检波和混频； 在高速逻辑电路中用作箝位。 功率肖特基二极管的制造技术 芯片结构与工艺 二、芯片结构与工艺 1.点接触 2.平面结构