5毕业论文外文资料翻译2012.doc

毕业论文外文资料翻译 题 目学 院 专 业 班 级 学 生 学 号 指导教师 二〇一 二年月日Chem. Mater. 2011, 22, 4402–4413 合成β-Mo2C薄膜 Colin A. Wolden*?, Anna Pickerell?, Trupti Gawai?, Sterling Parks?, Jesse Hensley?, and J. Douglas Way? ? Department of Chemical Engineering, Colorado School of Mines, Golden, Colorado 80401, United States ? National Renewable Energy Laboratory, 1617 Cole Boulevard, Golden, Colorado 80401, United States ACS Appl. Mater. Interfaces, 2011, 3 (2), pp 517–521 DOI: 10.1021/am101095h Publication Date (Web): January 20, 2011 Copyright ? 2011 American Chemical Society 摘 要 使用两步合成工艺制备化学计量比的β-MoC薄膜。MoF在氢气，氧气的氛围下采用等离子体增强气象化学法首先生成密集氧化钼薄膜。审查的沉积速率和质量方面的工作参数的依赖。氧化膜厚度是100-500纳米，在H和CH气氛中，采用程序升温反应后生成钼硬质合金。 用X-射线衍射线测得，在20％的甲烷和氢气的混条件下，当加热到700°C的氧化钼将完全转变成β-MoC相。渗碳后生成基本硅衬底的薄膜。用X射线光电子能谱检测薄膜无杂质，Mo此时是一个单一的氧化状态。用显微镜观察发现，沉积的氧化膜是没有什么特征的，而碳化物的薄膜是一个复杂的纳米结构。 碳化钼是一种在各种领域有很多潜在应用的多用途材料。碳化钼具有类似于铂族金属的催化性能，利用这种催化性能，并在过去几十年中广泛用于氨合成，合成各种烃，水煤气纸杯，制氢，酒精合成。[1-7]制作薄膜过程中，过渡金属碳化物的高硬度和热稳定性使他们合成的耐磨材料。[8-9]最近的研究都集中在碳化钼的光电特性范围内的应用，包括镜子，[10]渗透膜，[11]互连，[12]和电子场发射[13]我们目的是用价格低廉的材料替代铂族金属来表面氢分离。这种材料合成的薄膜将有利于催化剂性能的基础研究。??此相反，它的催化应用制备所需的粉末状β-Mo2C相。[1-4]，后来Boudart和他的同事[1 2]开发出一种方法，加入H2稀释的碳氢化合物并采用程序升温反应或TPR的混合物转换成高表面积Mo2C密集的氧化钼粉。 MoO3转变为Mo2C方法涉及MoO3的晶格中的氧碳替代，在反应过程中有Mo原子的微小位移。因为Mo2C的摩尔体积比MoO3的摩尔体积小，微孔状的氧化物转换成碳化物。在适当条件下的氧化钼被转换成Mo2C过程中没有形成金属钼作为反应中间体。金属烧结，避免使用这种方法，在物催化剂催化剂条件下，它可以准备具有很高的表面积（50-90平方米/克）。Rebrov et al.[5]采用这方法，形成催化剂通过预氧化的钼片渗碳涂料把它们应用到水煤气变换反应。 本实验是合成纯相的β-Mo2C未来研究模型催化剂层薄膜。下面我们介绍一个两步合成方法。首先，采用等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）在MoF6/H2/O2混合物中使密集的氧化钼薄膜沉积在硅片上。MoF6在这种化学反应中是很独特，以前的含钼的化合物的反应是用Mo（CO）的[17 18]或MoCl5[14，19]来化学气相沉积。用PECVD参数来描述氧化物的增长速度和质量。使用的PECVD形成氧化物将产生在更广泛的承印物上。薄膜通过TPR的催化条件转化为β-Mo2C相。使用一套分析技术可将整个过程中膜的组成和结构的演变进行了量化。 2试验 一氧化氮合成 在MoF6/H2/O2混合在一个电容耦合的PECVD系统中使氧化钼薄膜沉积。采用类似PECVD反应的化学的方法，用类似的气体混合物（WF6/H2/O2）17，20已成功地应用于合成的电致变色WO的薄膜。钼六氟化硫(Acros Organic, 99.5 vol %)的分解容易，但是反应过程中产生的氟自由基蚀刻膜是可逆的。为了解决这一问题，我们添加了氢的高频电子流来除去氟原子形成