RT系列中文手册.doc

RT系列是Semilab公司的单点的电阻率，厚度和P/N型号测试仪器。 本文档主要对RT系列的测试原理和操作流程加以介绍。 如有问题请与我们联系，竭诚为您服务。 瑟米莱伯（贸易）上海有限公司 地址：上海市浦东新区商城路889号波特营B2幢3层 电话: +86-21 传真: +86-21网站： 瑟米莱伯公司北京办事处 地址：北京市朝阳区东三环北路甲19号SOHO嘉盛中心1808室 电话: +86-10 传真: +86-10瑟米莱伯公司无锡售后服务中心 电话: +86瑟米莱伯公司石家庄售后服务中心 电话: +86 Semilab RT 系列电阻率测试设备主要包括： Rt-100 电阻率测试仪 无接触、无损伤、快速体电阻率测试： - 采用涡流场原理，测试体电阻率 - 可以测量单晶、多晶，无需表面处理 - 可用来分类测试锅底料、锭、棒、片等 - 测试范围：0.5 – 20 ΩCM (选配功能：0.01 – 0.5 ΩCM) - 可选配无接触P/N型号测试 Rt-110 电阻率厚度测试仪 无接触硅片体电阻率测试： - 采用涡流场原理，测试硅片的体电阻率 - 电阻率范围：0.5 – 20 ΩCM (选配功能：0.01 – 0.5 ΩCM) - 精度： 2 ΩCM以下：3% 2 ΩCM以上：5% - 测试速度： 1s / 点 - 可选加无接触电容法测硅片厚度功能 - 可选配无接触硅锭、回炉料电阻率测试 - 可选配无接触P/N型号测试 I.原理 Eddy current measurement 涡流法 当通有交流电的圆形线圈靠接样品时，线圈中的磁场会在样品诱导形成环形的电流叫做涡流电流，涡流电流与样品的电导率成正比，涡流法测试实际上测试的是电流在样品中的损失。 系统的输出信号与功率成正比，功率用来保证振动的振幅恒定，此信号在电阻率为特定的值时最强，向大小两个方向减弱，因此两个不同的电阻率会对应一个相同的信号。为进行区分，也需要对频率的去谐进行测试，低电阻率的样品去谐很明显，高电阻率的样品则不很明显，因此，去谐对对应相同信号的不同电阻率的样品有很好的区分度。 频率 对涡流电流的反馈影响很大，一般选择在125-135MHz，这个频率适于测试0.5-25ohmcm的样品。 几何形状 如样品不平或者尺寸很大，几何特性例如曲率，边缘等等。会影响涡流电流的反馈。如果涡流电流探头接触表面，几何的影响就会减小。 接近 探头线圈越接近表面，对线圈的影响越大。因此，当线圈与样品的距离增大时敏感度越低。 渗透深度 因电流密度的分布，被测样品的表面反馈最强，随着深度增大而减小。可以很方便的用数学计算来定义”标准注入深度”,即当涡流电流的值变为表面值的1/e时。 标准注入深度 频率增加时减小 电导率增加时减小 渗透性增加时减小（在常用频率内含铁的样品注入深度很小） 经常提到的所谓“有效注入深度”通常定义为标准深度的3倍，在此处电流密度降低到表面值的约3%。这个深度通常认为对涡流电流场已经不构成影响。 II.安装 1.设备由电脑控制，可方便的测试电阻率由0.5—25cm的样品。 在测试范围内的测试精度是±5%， 2.电压：100—230v ，单相线，50或60Hz III.软件操作 启动 启动后设备需要3分钟的预热，以保证探笔的正常工作，启动后界面如下： 测试的信号以毫伏为单位，计算出的电阻率以cm表示，signal后面有小字体的电压值，如果样品电阻率如果小于0.2cm此电压值会大于50mv，这种情况下电阻率超过量程，显示…?cm.在同一点进行测量时，最小电阻率对应的是最大的电压振幅值，以最小值作为样品电阻率值，用绿色大号字体显示出来，然后继续对最小值进行有哪些信誉好的足球投注网站。如果移开探笔后再置于样品表面，电阻率同样会在彩色电阻率显示条中显示，以便快速对样品进行分类排序。 如果样品值超过量程范围会有报警声，同时电阻率彩色显示条会闪烁报警。彩色显示条中的颜色可以根据需要进行设置， 2.功能键 Min，Max：用于设置彩色电阻率显示条的最小、最大的范围。 Colors：设置颜色数量及跨度值。 Comp：补偿，将电压的偏差清零。 Snd On 和Snd Off:报警声音的开和关。 Rate：每秒测试次数，可从1设置到100。 Save：用于设置参数的保存。 Signal：电压信号随时间变化的图像。 Resist：电阻率随时间变化的图像。 Stat： Count：测