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42卷第3期 人 工 晶 体 学 报 v。1.42N0.3 兰Q!!生兰旦 』Q旦坠些Q!墨兰盟堕婴gg幽坠望 丛竺垦:兰Q!! 0薄膜的电化学沉积和生长机理研究 Cu2 赵文燕1’3,田传进1,汪长安1”,谢志鹏1”,杨海滨3,付乌有3 (1.景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院,景德镇333403;2.清华大学材料科学与工程系,北京100084; 3.吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春130012) 摘要:采用酸性醋酸铜体系,在透明导电玻璃(ITO)上恒电位沉积Cu:O薄膜,研究阴极还原Cu:O的电化学行为, 利用x射线衍射(XRD)和场发射扫描电子显微镜(SEM)分析了Cll20薄膜的微观结构和表面形貌,通过控制电沉 积时间,研究Cu:0薄膜的表面形貌变化规律,讨论了Cu:0的生长机理。 关键词:Cu:0薄膜;电化学沉积;生长机理 中图分类号:0484 文献标识码:A ontheGrowthMechanismof OFilmsElectrochemical Study Cu2 by Deposition ZHAO Hai.bin3,FU Wen.yanl,TIANChuan-jinl,WANGChang—anl”,XIEZhi-pen91”,YANG Wu-you3 ofMaterialScienceand (1.School Englneering,JingdezhenCeramicInstitute,Jingdezhen333403,Chma; ofMaterialsScienceand 2.Department Engineering,TsinghuaUniversity,Beijing100084,Chma; 3.State of Key SuperhardMaterials,Jilha 130012,China) Laboratory University,Changchun 29October 17 (Received 2012,acceptedJanuary2013) thinfilmwere on conductive constant Abstract:Cu20 depositedtransparent glass(ITO)preparedby acid acetate theelectrochemicalbehaviorofthecathode potentialdeposition,usingcopper system,and reductionOwasstudied.Themicrostructureandsurface of 0filmswere Cu2 morphologiesCu2 characterized fieldemission electron byX-raydiffraction(XRD)andscanning lawsof Ofilmssurface withelectrochemicaltimeincreaseswere Cu2

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