镀膜工艺与镀膜系统配置-中国光学光电子行业协会.PDF

第 23 卷 　第 6 期 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　　　　　　　　　　 ( ) 　　　　　　　　　　　　　　 2003 年 11 、12 月 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 443 工业研究与应用 镀膜工艺与镀膜系统配置 伊恩·史蒂文森 　弗兰克·泽蒙 　戴尔·莫顿 (美国丹顿真空设备有限公司北京代表处 ,北京市宣武门外大街 6 号 ,庄胜广场办公楼第一座 908 　北京 　100052) Process Configuration of Vacuum Coating System Ian Stevenson ,Frank Zimone Dale Morton ( ) Danton Vacuum Beijing Representative offfice , 908 , Junefield Plaza Office Tower 1, No . 6 Xuan Wumen Da Jie , Beijing , 100052, China 　　Abstract 　The latest progress in the optical coating technologies and its vacuum system configuration was reviewed with attention focussed on widely used vacuum deposition 　　Keywords 　Optical coating system ,Thin film performance ,The tolerance triangle ,Process configuration 摘要 　在过去的 15～20 年中 ,光学薄膜镀制设备出现了令人瞩目的变化。以前 ,一般的镀膜机都是纯人工操作 ,最先进 　　 的也只是半自动控制 ,都必须依靠高水平的操作人员来保证镀膜产品的一致性。而现在 ,高质量的光学镀膜机已经是一个集 ( ) ( ) ( ) 成了系列智能化模块 子系统 的全自动系统。这些智能模块 子系统 通常在多个微处理器的指令下结成局域网 LAN ,而局 域网又可并入整个工厂的自控系统。 用户对设备性能的完善性要求越来越高 ,现在我们经常见到用户在购买镀膜机的同时 ,还要求厂家提供相关工艺技术。 本文探讨的是当今光学镀膜系统中可采用的子系统及部件 , 以及镀膜工艺在部件选择和真空室配置等方面所起的决定 性作用。尽管其他技术日渐流行 ,但鉴于物理蒸镀依然是目前适用性最强、应用最广泛的手段 , 因此本文中的讨论只涉及物 理蒸镀技术。 关键词 　光学镀膜机 　薄膜性能 　公差三角形 　工艺与结构 ( ) 中图分类号:TB75 ;TQ0514 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 2003 ( ) 1 　概述