倒装芯片键合技术.pdf

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倒装芯片键合技术

概述 概述 概述 概述 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) • 1.发展历史 • 2.关键技术 芯片凸点的制作技术 凸点芯片的倒装焊 底部填充 • 3.无铅化的凸点技术 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 1. 发展历史 1964倒装芯片出现; 1969年,IBM公司C4技术(可控塌陷技术); 至今,已广泛应用于SIP,MCM,微处理器,硬盘驱动器以及RFID等领域。 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 SBB(stud Bump Bonding); 溅射丝网印刷技术; 电镀凸点制作技术; 化学镀UBM/丝网印刷凸点制作技术; 聚合物凸点. 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 溅射丝网印刷技术 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 电镀凸点制作法 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 化学镀UBM/丝网印刷凸点制作技术 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 聚合物凸点:是Polymer Flip Chip Cor.的专利产品, 它采用导电聚合物制作凸点,设备和工艺相对简单,是一种 高效、低成本的FC。但作为一种新兴起的FC,其实用性有待 观察。 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (1)芯片凸点的制作技术 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (2)凸点芯片的倒装焊 倒装焊互连基板的金属焊区要求: 焊区与芯片凸点金属具有良好的浸润性; 基板焊区:Ag/Pd、Au、Cu(厚膜) Au、Ni、Cu(薄膜) 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (2)凸点芯片的倒装焊 热压焊倒装焊法 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (2)凸点芯片的倒装焊 再流倒装焊(C4)技术 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (2)凸点芯片的倒装焊 环氧树脂光固化倒装焊法 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键技术 (2)凸点芯片的倒装焊 各向异性导电胶(ACA、ACF) 导电粒子含量:10% 倒装芯片(FCB) 倒装芯片(FCB) 2.关键

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