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倒装芯片键合技术
概述
概述
概述
概述
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
• 1.发展历史
• 2.关键技术
芯片凸点的制作技术
凸点芯片的倒装焊
底部填充
• 3.无铅化的凸点技术
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
1. 发展历史
1964倒装芯片出现;
1969年,IBM公司C4技术(可控塌陷技术);
至今,已广泛应用于SIP,MCM,微处理器,硬盘驱动器以及RFID等领域。
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
SBB(stud Bump Bonding);
溅射丝网印刷技术;
电镀凸点制作技术;
化学镀UBM/丝网印刷凸点制作技术;
聚合物凸点.
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
溅射丝网印刷技术
倒装芯片(FCB)
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2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
电镀凸点制作法
倒装芯片(FCB)
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2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
化学镀UBM/丝网印刷凸点制作技术
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
聚合物凸点:是Polymer Flip Chip Cor.的专利产品,
它采用导电聚合物制作凸点,设备和工艺相对简单,是一种
高效、低成本的FC。但作为一种新兴起的FC,其实用性有待
观察。
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(1)芯片凸点的制作技术
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(2)凸点芯片的倒装焊
倒装焊互连基板的金属焊区要求:
焊区与芯片凸点金属具有良好的浸润性;
基板焊区:Ag/Pd、Au、Cu(厚膜)
Au、Ni、Cu(薄膜)
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(2)凸点芯片的倒装焊
热压焊倒装焊法
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(2)凸点芯片的倒装焊
再流倒装焊(C4)技术
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(2)凸点芯片的倒装焊
环氧树脂光固化倒装焊法
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键技术
(2)凸点芯片的倒装焊
各向异性导电胶(ACA、ACF)
导电粒子含量:10%
倒装芯片(FCB)
倒装芯片(FCB)
2.关键
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