MSP100显微分光光度计及薄膜厚度测量系统.PDF

    北京燕京电子有限公司      MSP100 显微分光光度计及薄膜厚度测量系统               地址：北京市朝阳区酒仙桥东路 9 号 A2 西七层 电话：010 59/60；传真：010邮箱：sales@      北京燕京电子有限公司      特点： • 基于视窗结构的软件，很容易操作； • 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出最佳的性能 及最长的正常运行时间； • 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测量； • 低价格，便携式及灵巧的操作台面设计； • 在很小的尺寸范围内，最多可测量多达 5 层的薄膜厚度及折射率； • 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参数 • 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率； • 系统配备大量的光学常数数据及数据库 • 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、 也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析； • 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一体； • 能够应用于不同类型、不同厚度(最厚可测200mm)的基片测量； • 使用深紫外光测量的薄膜厚度最低可至20 Ǻ； • 2D 和 3D 的图形输出和友好的用户数据管理界面。 • 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量； • 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应用 系统配置： • 型号：MSP100RTM • 探测器：2048像素的CCD阵列 • 光源：高功率的深紫外－可见光光源 • 光传送方式：光纤 • 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5” ×3” 的距离上移动， 并且有着 1 μm 的分辨率，程序控制 • 物镜有着长焦点距离:4×，10×，15×(DUV)，