ProtoLaserLDI无掩膜激光直写光刻设备pdf.PDF

微精细结构 功能更强大 市场对精细结构需求的增长，使得微流体技术在诸多领域的应用和研究更为深入，如化学、生物、 医药、物理、成像学以及生命科学等。LPKF ProtoLaser LDI能够在实验室内完成更加柔性且快速的 微流体通道样品的制作。 ProtoLaser LDI是一款多功能，高精度，桌面型无掩膜 这一工艺可加工多种平整的基材表面，无特殊环境条件 激光直写光刻设备，用于在光致抗蚀基材上成像，无 要求（推荐使用黄灯）。只需将样品放入标准或客户定 需掩膜，比传统光刻工艺形成的图像精度更高。工作 制的承载装置，然后直接推入ProtoLaser设备中即可。 幅面达100×100mm。最细通道宽度1µm。ProtoLaser LDI是微流体通道设计和制作的理想工具。 该工艺为非接触式，因此不涉及工具损耗，设备多年不 需要维护，几乎没有运行成本。这使得该设备对于创新 LPKF ProtoLaser LDI采用UV紫外激光技术，直接读取 性设计测试方面，是一款非常完美、耐用的工具。 设计数据，激光直接在感光层上形成精细结构。无需 LPKF ProtoLaser LDI很大程度上提高了创新实现的可能性。 昂贵的曝光设备，也无需外加工昂贵的掩膜。 • 最细通道可达 1 mµ • 可使用多种基材 • CAD数据直接导入进行加工 • 可快速定位 • 桌面型独立设备 微流体通道-边缘平滑，拐角陡直，尺寸精确 SU8负性感光胶上制作几何尺寸精准的柱型微结构 AZ正性感光胶上制作微透镜阵列 The ProtoLaser LDI 内置微流体承载装置 功能强大易操作 通过声光偏转器将100kHz光束定位，使激光极速 ProtoLaser LDI 支持DXF文件 ，并且可以对CAD文件 直写成为可能，只需花费几分钟即可制作一款典 进行修改。多种嵌入功能使微流体通道设计非常简 型的微流体通道。自动检测功能可以弥补基材表 单和高效。可选择不同激光刀具和算法，来优化直 面或感光层不平的问题：在最好的条件下才能得 写速度得到精细结构。所有的准备工作都可以通过 到最佳结果。 可视化软件进行控制。 17.09.14 16:49