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三电极非热电弧发生器放电模式的试验研究-清华大学学报
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清华大学学报 自然科学版 年 第 卷 第 期
ISSN1000-0054 2014 54 1 1121
/ ( ), , ,
CN11-2223N JTsinhuaUniv SciTechnol 2014 Vol.54 No.1 73-77
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三电极非热电弧发生器放电模式的实验研究
,
1 12 1 1 1 1
王志斌 , 陈国旭 , 王 哲 , 葛 楠 , 李和平 , 包成玉
( , ; , )
1.清华大学 工程物理系 北京 100084 2.兰州交通大学 热能工程系 兰州 730070
:
摘 要 该文提出了一种三电极非热电弧等离子体发生器 lasma eneratorisusefulfor roducin non-thermalarc lasmasat
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,
lowa liedvoltaesandformaintainin non-thermalarcdischares
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, ,
结构设计 通过引入浮动电极 降低了非热电弧放电的点火
athih asflowrates.
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, 。
电压 获得了稳态的非热电弧放电等离子体 实验结果表
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Kewords lasma non-thermalarc discharemode
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:
明 采用该三电极结构的等离子体发生器所产生的等离子体
3 3
;
气体温度在 2.0×10~3.0×10K之间 在其他参数保持
, ,
不变的情况下 随着等离子体工作气体流量的增加 存在非 由于气体放电等离子体中含有大量的化学活性
、
热电弧放电 非热电弧 介质阻挡混合放电和表面介质阻挡 ( 、 、 、
粒子 如电子 离子 处于激发态的原子 分子以及自
;
放电 种不同的放电模式 在等离子体工作气体流量不
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