SrBi4Ti4O15铁电薄膜的制备工艺及薄膜生长机理研究.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 物 理 学 报 (( % $$) % ， ， ， \8= 0(( 68 0% D+E: $$) （ ） !$$$H%4$ 3 $$) 3 (( $% 3 !)H$5 OY.O 1VZ*[YO *[6[YO !$$) Y:-9 0 1:M? 0 *8E 0 !#$ $ ’ 铁电薄膜的制备工艺 % % () 及薄膜生长机理研究! ）） ） ） 黄 平! # 徐廷献 崔彩娥! !）（太原理工大学理学院，太原 $%$$ ） ）（天津大学材料学院，先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室，天津 %$$$’ ，） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$( ( ) $$( ’ ) 以氯化锶，硝酸铋和钛酸丁酯为原料，柠檬酸为络合剂，乙二醇为交联剂，无水乙醇为钛酸丁酯的溶剂，盐酸为 硝酸铋的溶剂，去离子水为氯化锶的溶剂，配制了稳定的 （ ）前驱液 采用溶胶凝胶工艺，在 *+,- .- / *,.- 0 12 3 .- 3 !( *-/ 基片上制备了 轴取向增强的 铁电薄膜 研究了一次性晶化快速退火工艺、两层晶化快速退火工艺、 3 *- ! *,.- 0 逐层晶化快速退火工艺以及成膜次数对薄膜结晶性、微观结构和生长行为的影响 实验结果表明，逐层快速退火工 0 艺可有效抑制焦绿石相的形成；随着涂覆次数的增加，薄膜的结晶性变好；由于 *,.- 晶体生长的各向异性及单层膜 厚对晶体沿（ ）方向生长的限制，随着涂覆次数的增加， 薄膜（ ）峰和（ ）峰的强度逐渐增大，而（ ）峰 !!4 *,.- !!4 $$ $$ 的强度反而略有减小，从而使 （ ） （ ），（ ） （ ），（ ） （ ）逐渐增大 # $$ $ # !!4 # $$ $ # $$!$ # !!4 $ # $$!$ % 关键词：铁电薄膜，钛酸锶铋，逐层快速退火工艺，生长行为 ： ， ， *+,, ’’5$ )5(( 5!!( 钙钛矿结构铁电薄膜，具有较好的抗疲劳特性（经 !$!! 次极化反转 几乎无变化），与