- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、有哪些信誉好的足球投注网站(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
ⅢⅤ比对GaN等离子体辅助MBE生长的影响.pdf
光电字·激光
第17卷第8期2006年8月 Journal V01.17No.8
ofOptoelectronics·Laser Aug.2006
Ⅲ/V比对GaN等离子体辅助MBE生长的影响*
隋妍萍一,于广辉,俞谦荣,齐 鸣
(中科院上海微系统与信息技术研究所,信息功能材料国家重点实验室,上海200050)
摘要:在射频(RF)等离子体辅助分子束外延(MBE)系统中,采用低温缓冲层等一系列生长工艺制备出
二维生长模式的GaN材料;通过研究Ⅲ/V比的调节对GaN生长的影响,确定了微富Ga的MBE生长
GaN的优化条件;对GaN富Ga和富N状态的表面形貌和结构进行了比较,富Ga条件下的GaN具有
更好的表面和材料特性;通过Hall和光致发光(PL)谱测试研究了GaN的电学和光学性质,GaN的黄带
发光(YL)与GaN中生成能最低的Vw和Vc。缺陷态有关。
关键词:分子束外延(MBE);Ⅲ/V比;二维生长;光致发光(PL)谱
文献标识码:A
中图分类号:TN304.2+3 文章编号:1005—0086(2006)08—0958—05
Effect FluxRatioonGaNGrowthPlasma—assistedMBE
ofⅢ/V by
SUI Guang—hui,YU
Yan-ping~,YU Qian—rong,QIMing
of In
(State ofFunctionalMaterialsfor Institute and
KeyLaboratory lnformatics,ShanghaiMicrosystem
formation of 200050,China)
Technology,ChineseAcademyScience,Shanghai
f.|msin2-D modewere molecularbeam
Abstract:GaN growth grownbyplasma—assisted
a of buffer conditions.Wehavestudied
range
epitaxy(MBE)underlow-temperaturelayer
onGaN
theeffectof fluxratio basedonthe ofmicrostructureandsur·
m/v growth study
face theintermediateconditionbetweenGa-richandN-richconditionsis
morphologies.And
established,slGa-richconditionisthe conditionforMBEGaN
ightly optimal growth.Blue
in GaN at10K
and low observedthe androom
您可能关注的文档
- α-突触核蛋白促进MES23.5细胞突起生长.pdf
- α1胸腺肽对胸腺细胞发育和成熟的影响.pdf
- β-1,4-甘露聚糖内切酶在番茄发育中的作用.pdf
- β-catenin、VEGF、CD105在大肠侧向发育型肿瘤中的表达及临床意义.pdf
- β-catenin、磷酸化GSK-3β、c-myc与大肠侧向发育型肿瘤关系的研究.pdf
- β-catenin在乳腺发育及乳腺癌中的研究进展.pdf
- β-Conglycinin对不同发育时期鲤鱼消化酶活力的影响.pdf
- β-SiAlON晶须的诱导合成和生长机制研究.pdf
- β-榄香烯对兔VX2喉癌生长及肿瘤相关因子的影响.pdf
- β-淀粉样前体蛋白转基因小鼠发育过程中海马 CAI区神经细胞凋亡变化.pdf
文档评论(0)