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对硅片进行掺杂的硅浆料 皮孝东 浙江大学硅材料国家重点实验室和材料科学与工程学院 xdpi@zju.edu.cn 致谢 杨德仁 教授 杨歆逸（硕士生） 高煜 （博士生）  教育部支撑技术项目 2 报告内容  硅片的热扩散掺杂源  掺杂硅浆料的制备  丝网印刷掺杂硅浆料  总结 3 硅片的热扩散掺杂源 1. 气态源 (PH , B H …) 3 2 6 放置于石英舟中的硅片 掺杂源气体 + N , O , H … 2 2 2 石英管 P: 2PH + 4O → P O + 3H O B: B H + 3O → B O + 3H O 3 2 2 5 2 2 6 2 2 3 2 2P O + 5Si → 5SiO + 4P 2B O + 3Si → 3SiO + 4B 2 5 2 2 3 2 4 硅片的热扩散掺杂源 2. 液态源 (POCl , B(CH O) , BBr …) 3 3 3 3 N , O 2 2 掺杂源液体 P: 4POCl + 3O → 2P O + 6Cl B: B(CH O) → B O + CO + H O… 3 2 2 5 2 3 3 2 3 2 2 2P O + 5Si → 5SiO + 4P 4BBr + 3O → 2B O + 6Br 2 5 2 3 2 2 3 2 2B O + 3Si → 3SiO + 4B 2 3 2 5 硅片的热扩散掺杂源 3. 固态源 (Al(PO ) , P O , BN, B O …) 3 3 2 5 2 3 掺杂源片 N , O , H … 2 2 2 P: Al(PO ) → AlPO + P O