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# 第 卷 第 期 年 月
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正交线偏振激光器原理与应用( )
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———精密测量应用原理及技术基础研究
张书练 杜文华 李 岩 朱 钧
清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 !#$
摘要 综述了利用正交线偏振激光器内特性进行精密测量的研究成果,包括: 纳米激光器测
!
尺(基于频率分裂的激光器两偏振光竞争位移传感激光器)测量原理, 基于频率分裂激光器两偏
振光回馈的位移测量原理, 直接利用波片形成频率分裂的波片位相延迟测量原理, 基于频率
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分裂对腔内双折射强弱敏感性的位移测量原理,角度测量原理,振动测量原理, 压强测量原
%
理, 磁场测量原理等 所涉及现象包括:激光纵模间隔内新频率的产生,两频率之差的改变、
;
光束的偏振特性的改变,模的竞争强度的改变等 这些新应用的原理、结构简单,可溯源到光的
;
波长 如,激光器自身就是传感器的纳米激光器测尺已在应用中,测量范围 、分辨率 、
; !% 22 +) =2
线性度小于( C ! D ( ; 波片位相延迟测量系统重复性达到 ; E ;
关键词 正交偏振 位移测量 激光回馈 波片测量 角度测量 振动测量
过去,人们对激光的应用基本上是利用激光的 换句话说,如果在驻波激光器中插入双折射元件,
外特性,即激光器输出光束高亮度(大功率)、高相 则输出的双偏振光的频差满足:
干性,高定向性; 这样的应用仅把激光器看成是一
个光源,应用中并不引起激光器内部光束性质的改 ! ()
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变 !
; 环形(行波)激光是一个特例 ,但驻波(激光
管,微片等)激光的内腔特性应用是空白; 作者实验 对()式最直观的印象是:它有潜在的应用价值 对
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室对正交偏振两频激光现象的应用研究则不同,是 于,A.A 激光器的 ; *%# 2 波长,! #$ ; +$ C !!$
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直接利用驻波激光器内部的物理特性; 在精密测量
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