微电子导论2013.pdf

微电子导论 之一： 电子材料、工艺、器件到集成电路 黄启俊 huangqj@whu.edu.cn 2013.10 “电子科学与技术”和“微电子科学与工程” • 相关学科： 微电子学 （071202 ）、电子科学与技术 （080606） 电子信息科学与技术 （071201） 集成电路设计与集成系统 （080615W ） 一级学科 微电子制造工程 （080621W ） • （集成）电子系统： 系统级、算法级、传输级、逻辑级、器件级、版图级 • 电子信息科学与技术偏重于信息传输和处理方面 • 电子科学与技术则偏重于器件级、版图级的物理实现方面 • 微电子科学 电子科学与技术的上游学科 与工程 电子信息科学与技术的下游学科 电子系统分层 电子信息科学 电子科学与技术 电子信息科学 信号处理、 电子科学与技术 信号处理、 电子系统构架 电子系统构架 System 系统 系统 系统 系统 信号 Module 信号 + 信号 信号 Gate 电路 电路 Circuit 电路 电路 Device 器件 器件 G S D n+ n+ 工艺 材料、器件、电路、 工艺 材料、器件、电路、 电子系统实现 电子系统实现