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微电子工艺3-半导体材料
微电子工艺
--半导体材料
1.前言
固态材料按其导电性能可分为三类,即绝缘体、半导体及
导体。
导体:含有大量的自由电子,可以在电压的作用下自由的
移动,就像一个电子海洋。
绝缘体:没有自由电子,电子被原子紧紧地束缚,不能自
由运动。正是由于这些电子不可动,绝缘体几乎是不导电
的。
半导体:导体边缘的绝缘体,和绝缘体一样都属于非导体
的类型,但禁带的宽度不同。半导体的禁带宽度比绝缘体
的禁带宽度要小得多,因此在外界的热激发、光激发等情
况下,具有一定的导电性。半导体分为两类:本征半导体
和非本征半导体。 电子科学与
技术教研室
1. 固体的能带理论
完全分离 的两个氢原子能级
2p 2p
2s 2s
1s 1s
e e
A + + B
e e
电子只能存在于原子核周围的某个能量状态,该能量状
电子科学与
技术教研室
两个氢原子靠得很近时的能 六个氢原子靠得很近时的能
级分裂 级分裂
E E
2p 2s
2s
1s
1s
O r O r
E
固态晶体的能带
2s
O r
电子科学与
技术教研室
电子科学与
技术教研室
能带中电子的排布
固体中的一个电子只能处在某个能带中的某一能级上。
排布原则:
1. 服从泡利不相容原理
指在原子中不能容纳运动状态完全相同的电子。又称泡利原理、不
相容原理。一个原子中不可能有电子层、电子亚层、电子云伸展方
向和自旋方向完全相同的两个电子。
2. 服从能量最小原理
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