GG结构电容触摸屏金属搭桥与ITO搭桥对比.ppt

G+G电容式触摸屏 MAM（钼铝钼） Jumper和ITO Jumper对比 2011.6.28 目录 1.电容触摸屏工作原理 2.电容触摸屏常用的Sensor图案 3. MAM Jumper和ITO Jumper膜层结构 4. MAM Jumper和ITO Jumper工艺对比 5.MAM Jumper工艺流程 6.ITO Jumper工艺流程 7.MAM Jumper和ITO Jumper优缺点对比 电容式触摸屏工作原理 手指、导体或专用电容触控笔接近触控面板上的触控感应通道时， 电容增加 电容增加 触控感应通道的电容增加，在高频驱动下，电容增加讯号通过感应引线 传送到触控IC的电容感应器上，经触控IC处理后形成触控讯号，最后 软件驱动程序结合显示器屏幕内容将触控讯号转换成触控命令，并 输送至CPU实现人机交换功能，如下图所示。 触控IC CPU 常用的Sensor图案 电容式触摸屏ITO Sensor可分为双层ITO和单层ITO结构，其中单层ITO结构需使用金属层作搭桥使得纵向的ITO形成回路。从图案形状可分三角形、菱形、矩形等结构，目前菱形结构的触摸屏最为常见。这里只以单层ITO菱形结构进行阐述，下图即为菱形图案的搭桥跳线结构。制作Jumper的材料有MAM（钼铝钼）和ITO两种，但是目前以ITO 作为Jumper这种工艺并不成熟，且各个触摸屏厂还没有形成批量化生产。 菱形结构的Jumper位置 MAM Jumper和ITO Jumper膜层结构 ITO Jumper和MAM Jumper在制程中是不一样的，因此以两者 其跳线处于ITO图案的上面。 作为搭桥的Sensor Glass在膜层结构上是有一定的区别。 制程上， ITO Jumper须在第一道工序制作，然后再蚀刻图案， 故ITO Jumper处于ITO图案的下面，而MAM Jumper刚好相反， ITO Jumper选择在第一道工序制作是因为Jumper和图案的材质 一样，在蚀刻ITO Jumper和蚀刻ITO图案都需用到相同的的蚀刻液， 如下表，为避免蚀刻ITO Jumper时对ITO图案造成损伤，必须选择 MAM Jumper和ITO Jumper膜层结构 ITO Jumper在第一道工序制作。 制程 ITO图案 跳线 走线 ITO Jumper HCl+HNO3 HCl+HNO3 HCl+HNO3 MAM Jumper HCl+HNO3 H3PO4+HNO3（同一工序） 药液 跳线类型 MAM Jumper和ITO Jumper膜层结构 ITO Jumper 玻璃基板 ITO Jumper 保护层 绝缘岛 Sensor图案 金属走线 MAM Jumper MAM Jumper 金属走线 Sensor图案 玻璃基板 保护层 绝缘岛 ITO 图案 ITO Jumper 绝缘岛 ITO Jumper和MAM Jumper工艺对比 ITO Jumper 在工艺上比MAM Jumper要难得多，且不成熟，两者不同 第一、在制作ITO图案前，需对镀好的ITO经过高温结晶，绝缘岛易黄化而 第二、对位精度要求高，ITO图案（ITO光刻图案）必须准确搭在绝缘岛两 侧上，否则蚀刻图案时将蚀刻到ITO Jumper而造成开路； 造成不良，MAM无需结晶； 点如下： L L 搭桥刻断 对位偏位 ITO Jumper和MAM Jumper工艺对比 第三、为尽可能降低ITO Jumper的阻值，ITO Jumper尽量做到很宽，而MAM 第四、ITO为结晶体，质地比较脆弱，搭桥位置ITO由于高度差容易断裂， Jumper大小由于可视需要限制在一定范围； 可靠性远远没有MAM理想； 容易断裂位置 ITO搭桥 ITO图案 回路电阻R越小越好 ITO Jumper和MAM Jumper工艺对比 第五、ITO线条越细其电阻越大，由于IC的限制，感应通道一般要求回 可以作为Jumper，又可以作为边缘走线，两者可以在同一工序制作， MAM作为边缘走线，这同时增加了工艺流程和成本；而MAM既 路电阻必须小于30K，故ITO常无法满足边缘细走线要求，需使用 简化工艺流程。