MF5712气体流量计说明书.pdf

MEMS气体质量流量计 MF5700系列 (VA .1) S IA RGO LT D. （L td .）提供世界领先的M E M S 流量传感器技术及产品，以满 足客户广泛的应用需求。本手册为现有定型产品的使用说明，广州迪川仪器仪表有限公司也能够根据 客户的要求设计和定制产品。进一步的信息，请直接与 1.产品特点 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量 灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50 :1甚至更高 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定 响应速度快 输出方式灵活，提供LC D现场显示，也可提供RS 4 8 5通讯接口由上位机查询输出数据 可通过按键配置参数 具有超量程报警指示功能 便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换 N P T连接方式，易于安装与使用，也可根据客户需求定制其他接口 2 .产品应用 分析仪器行业 食品行业 机电行业 烟草行业 科研院校 化工行业 玻璃行业 饮料行业 农林渔业 医药行业 M F5700 1/11 3 .工作原理 M F 5 7 0 0系列气体质量流量计是基于自主研制的M E M S流量传感芯片，其 原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的 温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定 的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化 并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。 由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的 质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。 ( ) 选配线缆 3.6～9 V DC C D C N A B V G 5 5 ) ) 8 8 3 4 4 4 n n i i S S P P R R ( ( 电池 RS 485 报警模块 按键检测 电路 通讯接口 接口 RTC