氮化硅的制备、性质及应用.ppt

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2017-10-24 发布于湖北
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氮化硅的制备、性质及应用.ppt

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氮化硅的制备、性质及应用

*;*;*;*;在工业性能上， Si3N4材料表现出了较好的工艺性能。（1）机械强度高，硬度接近于刚玉，有自润滑性耐磨；（2）热稳定性高，热膨胀系数小，有良好的导热性能；（3）化学性能稳定，能经受强烈的辐射照射等等。;常用的制备方法有：硅粉直接氮化法碳热还原法卤化硅氨解法制备前驱体法化学复分解法原位合成法硅合金氨解法等;*;*;*;*;*;*;*;*;*;普遍存在如下不足：由大颗粒氮化硅、多相粉体烧结制备，脆性大、均匀性差、可靠性低、韧性和强度差而硅粉直接氮化法制备氮化硅粉体要求氮气压力必须足够高，以实现 Si 和 N2 的充分接触。一般燃烧合成Si3N4 的氮气压力低限是3MPa，但有时高达100MPa以上。采用高压合成工艺不仅因设备投资高而且增加了???产成本，同时也给生产带来了安全隐患。从国内外氮化硅粉体的指标测试和试烧结果看来，国内最具代表性企业生产的 Si3N4 平均颗粒在 3 微米左右，金属杂质含量较高，难以达到合格产品要求，而进口的粉体为 0.7 微米以下。因此，为满足市场需求，工业化生产超微、高质量的氮化硅粉末是国内氮化硅行业发展中亟待解决的难题，刻不容缓。关键在于对其合成工艺进行改进。;前景;*