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矽翔 MF5000系列MODBUS工作协议V1.0
MF5000系列气体质量流量计
Modbus通讯协议
（Ver1.0）
MF5000 系列气体质量流量计和上位机 Modbus 通讯协议 V1.0
目 录
1 适用范围 3
2 Modbus 协议 3
2.1 协议简介 3
2.2 通讯参数 3
2.3 Modbus 消息帧 4
2.3.1 RTU 模式 4
2.3.2 设备地址域 5
2.3.4 功能代码域 5
2.3.5 数据域 6
2.3.6 错误检测域 7
2.4 错误检测方法 7
2.4.1 奇偶校验 7
2.4.3 CRC 检测 7
3 功能描述 11
3.1 Modbus 功能格式 11
3.1.1 数字值的表达 11
3.1.2 消息帧中的数据地址 11
3.1.3 消息帧中的域内容 12
3.1.4 字节个数域的使用 13
3.1.5 异常响应 13
3.2 读保持寄存器（功能码=03 ） 14
3.2.1 功能描述 14
3.2.2 消息帧格式 15
3.3 预置单寄存器（功能码=06 ） 16
3.3.1 功能描述 16
3.3.2 消息帧格式 16
3.4 错误诊断查询（功能码=08 ） 17
3.4.1 功能描述 17
3.4.2 消息帧格式 17
3.5 预置多寄存器（功能码=16 ） 18
3.5.1 功能描述 18
3.5.2 查询消息帧 18
3.5.3 响应消息帧 18
附录 A 参数说明 19
A.1 参数限制 19
A.2 参数概述 19
i
MF5000 系列气体质量流量计和上位机 Modbus 通讯协议 V1.0
A.3 参数详述 19
A.3.1 约定 19
A.3.2 参数详细说明 20
ii
MF 系列工业气体质量流量计和上位机 Modbus 通讯协议 V0100
1 适用范围
本协议适用于具有 RS-485 通讯接口的 MF5000 系列气体质量流量计，其软件版本为
V0100 。
2 Modbus 协议
2.1 协议简介
该协议定义了Modbus总线Master（主设备）与Slave（从设备）之间的通讯报文格式，
对于主设备来说，Modbus协议是联系上位机（如PC、PLC、HMI等）的接口，而且所有的通
讯都是“透明的”。控制器通信使用主-从技术，即仅有一个设备（主设备）能初始化传输
（查询），其它设备（从设备）根据主设备查询提供的数据作出相应反应。
主设备可单独和从设备通信，也能以广播方式和所有从设备通信（仅限于点对点通讯）。
如果单独通信，从设备返回一帧消息作为回应；如果是以广播方式查询的，则不作任何回
应。Modbus 协议建立了主设备查询的格式：设备（或广播）地址、功能代码、所有要发送
的数据和错误检测域。
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