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奇美電子在職人員靜電研討會 ? 宏立有限公司 今天所要討論的題目 靜電防護 Why? Electrostatic Field 基本字彙 ESD 靜電放電= ElectroStatic Discharge ESA靜電吸附= ElectroStatic Attraction Electrostatic靜電 = 高電壓，低電流 靜電量測單位 Static Generation Method 摩擦 放電破壞 放電破壞 放電破壞 Control- 如何控制ESD Grounding接地 Grounding接地 腕帶- 檢查數值 導電鞋- 檢查數值 靜電接地定期檢測 靜電治具/台車接地檢查 工作桌接地檢查 導電地板效能檢查 Shielding遮蔽 Shielding遮蔽 靜電Tray 盤阻抗質檢查 導電箱材質檢查 導電/防靜電包裝材料材質檢查 防靜電，導電材質的分別 根據ESD ASSOCIATION 的規範 Conductive 導電 1X104 Ohm (NO!) Dissipative 靜電消散 1X104 to 1X1011 (Good!) Insulative 絕緣 1X1011 (NO!) Neutralization 靜電消除設備 Ionizer Types Different Type of Ionizers 如何消除靜電 Corona Discharge 尖端放電 利用尖端放電產生正負離子，以中和方式消除表面上的靜電 Comparison Ionizer Selection Check and Clean Successful ESD program Standards 規範 (ESDA) 現場示範 Questions Thank You 針尖離子化型 （針尖放電） X-Ray Soft X-Ray AC TYPE DC TYPE SSDC PULSE DC AC /Pulse AC SSDC Pulse DC 需電子迴路來保持離子平衡 離子平衡及穩定度較弱 單一針尖產生單極離子 針尖數量較少 體積小 SSDC 需搭配sensor來達到最佳功能 價格高 AC方式，以IC調整頻率來達到離子平衡 有效距離較遠，並保持良好平衡 變頻AC 離子平衡差 洩電時間最久 體積比DC大，無法安裝在小型環境內 非常近距離時較高電感，不建議使用在磁頭業。（對一般IC業無影響 針尖數量多 缺點 大幅提昇有效距離，不需風扇輔助。 適合在不能使用風扇之環境內。 單一針尖產生正負離子，不需電子迴路來保持離子平衡 穩定度高，較長壽命 優點 Pulse DC AC 市面上靜電消除設備有需多款式，好的靜電消除器能提供即時靜電消除及防護，但不良的靜電消除器卻能帶來更多的靜電破壞或工業安全之問題，所以在選擇時需審慎注意。 正確選擇建議選擇事項 未定期清潔針尖，尖端堆積白色粉末硝酸銨 導致靜電消除器NG 定期保養 清潔 檢測 校正 無塵棉花棒沾 IPA擦拭針尖 用靜電分析器(CPM) 定期比對 比對項目： 離子平衡 洩電時間 使用靜電消除器 內靜電刷 用靜電分析器(CPM) 校正 1 從改善產品線路設計層次來加強被靜電破壞之機率 2 針對產品特性來計畫何種的靜電控制層次 3 瞭解並規劃出靜電防護區域? (EPA區) 4.消除或減低靜電產生 接地或中和靜電 從上列三大點基本概念及根據美國ESDA協會建議，可以採用下列程序來建立一套靜電基本防護程序，因各廠環境不同，故先事先檢討及頻估其相關資源及管理階層之瞭解與支持，才可以能快速及有效的達到目的，如在規劃方面如有問題，也可與本公司技術人員詢問。 宏立公司?-靜電最佳伙伴 宏 立 公 司 * 靜電破壞方式 靜電產生原理 靜電控制 結論 規範解說及示範 Q A 減低故障 提升良率 靜電壓 靜電偵測器量測單位 V 伏特 例如+ 150V Volt/Meter 靜電容量 Farads法拉 接觸及分離 感應帶電 Induction-感應生電破壞 兩個未接地金屬互相接觸 0V 帶負電物品靠近，正負極互相吸引相吸 兩個金屬分離 兩個金屬感應帶電 +200V Damage!! 靜電如何破壞產品 ESD破壞 ESA微塵吸附 直接型靜電破壞-電測時及時能發現 潛伏型靜電破壞-能通過電測，但是短期使用後線路斷裂造成故障 Charge Level Example -1000 to –2000V 撕膜 -4000V Unloader -200 to +500 V Spin Coater -3000V Cassette Discharge Method破壞模式 靜電放電可分為三大模式 HBM 人