微波等离子体用于消除温室气体全氟化物的研究进展.PDF

微波等离子体用于消除温室气体 全氟化物的研究进展 金海燕，王兴华，王宝君，冯国栋 （吉林大学 化学学院，长春 １３００２３） 摘 要：根据文献报道，评述了１９９７－２００９年以来微波等离子体用于消除温室气体全氟化物的 　 研究进展。介绍了几类微波等离子体系统，包括放电管型微波等离子体、微波等离子体共振腔反应 器、炬型微波等离子体等（引用文献 篇）。 ３１ 关键词：微波等离子体；全氟化物；消除率；综述 中图分类号： 文献标志码： 文章编号： （ ） Ｘ７０１．７ Ａ １００１４０２０２０１００９１０９９０５ 　　　 　　　 犚犲犮犲狀狋犘狉狅狉犲狊狊狅狀犃 犾犻犮犪狋犻狅狀狅犳犕犻犮狉狅狑犪狏犲犘犾犪狊犿犪狋狅 犵 狆狆 犈犾犻犿犻狀犪狋犻狀 犘犲狉犳犾狌狅狉狅犆狅犿 狅狌狀犱狊 犵 狆  ， ， ， 犑犐犖犎犪犻犪狀 犠犃犖犌犡犻狀犺狌犪犠犃犖犌犅犪狅狌狀 犉犈犖犌犌狌狅犱狅狀 狔 犵 犼 犵 （ ， ， ， ） 犆狅犾犾犲犲狅 犮犺犲犿犻狊狋狉 犑犻犾犻狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犆犺犪狀犮犺狌狀１３００２３犆犺犻狀犪 犵 犳 狔 狔 犵 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｒｅｖｉｅｗｗａｓ ｉｖｅｎｏｎｔｈｅｒｅｃｅｎｔ ｒｏｒｅｓｓｏｆａ ｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｍｉｃｒｏｗａｖｅ ｌａｓｍａｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｉｎ ｇ ｐ ｇ ｐｐ ｐ ｇ ， ， ｅｒｆｌｕｏｒｏｃｏｍｏｕｎｄｓｃｏｖｅｒｉｎ ｅａｒｓｆｒｏｍ１９９７－２００９ ｒｅｌａｔｉｎ ｅｓｅｃｉａｌｌｔｏｓｅｖｅｒａｌｋｉｎｄｓｏｆｍｉｃｒｏｗａｖｅ ｌａｓｍａ ｐ ｐ ｇｙ ｇ ｐ ｙ ｐ ， ， ｉｎｃｌｕｄｉｎ ｔｈｅｄｉｓｃｈａｒｅｔｕｂｅｍｉｃｒｏｗａｖｅ ｌａｓｍａ ｔｈｅｍｉｃｒｏｗａｖｅｒｅｓｏｎａｎｔｃａｖｉｔ ｒｅａｃｔｏｒ ｔｈｅｔｏｒｃｈｍｉｃｒｏｗａｖｅ ｇ ｇ ｐ ｙ ， （ ） ｌａｓｍａａｎｄｔｈｅｉｒａ ｌｉｃａｔｉｏｎｔｏｅｌｉｍｉｎａｔｉｎ ｅｒｆｌｕｏｒｏｃｏｍｏｕｎｄｓ３１ｒｅｆ．ｃｉｔｅｄ． ｐ ｐｐ ｇｐ ｐ 犓犲狑狅狉犱狊： ； ； ；