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悬浮型微共振探针在电负性容性合等离子体中电子度的量-物理学报.PDF

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悬浮型微共振探针在电负性容性合等离子体中电子度的量-物理学报

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 7 (2012) 075204 * † ( , , 215006 ) ( 2011 6 7 ; 2011 7 19 ) Ar , , . 40.68 MHz Ar/SF SF /O 6 6 2 : SF6 Ar , SF6 , ; O2 SF6 , O2 . , 40.68 MHz/13.56 MHz SF6/O2 . . : , , PACS: 52.27.Cm, 52.70.Ds, 52.70.Nc 1 , , , , . . , Stenzel 1975 , , [11]. 1995 , . ( Ar [10]. 2002 , ) [1,2], Kondrat’ev , , [3,4] , , [12]. I-V , 2004 , Piejak , . , , , , , [13]. [5,6] [7,8] , Piejak [9] [10−24] . [14]. 2007 , Sands , [10], , * (BY2010125) . † E-mail: xylzf 1999@ c 2012 Chinese Physical Society 075204-1 Acta Phys.

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