斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法.PDF

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号CN 103983366 A (10)申请公布号 CN 103983366 A (43)申请公布日 2014.08.13 (21)申请号 201410239682.1 (22)申请日 2014.05.30 (71)申请人 南京理工大学 地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200 号 (72)发明人 陈磊 朱文华 韩志刚 李金鹏 郑东晖 李建欣 乌兰图雅 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国 (51)Int.Cl. G01J 9/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图2页 权利要求书2 页 说明书4 页 附图2 页 (54)发明名称 斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法 (57)摘要 本发明公开了一种斜入射反射型点衍射板及 其干涉测量方法。该点衍射板的基底采用折射率 均匀的光学玻璃，且该光学玻璃为平行平板结构； 所述基底的入射面上部镀有增透膜、下部镀有介 质膜，基底的反射面上部镀有高反膜、下部镀有增 透膜；所述入射面下部的介质膜内设有一个椭圆 孔；所述基底反射面上部的高反膜在入射面上的 投影与入射面下部的介质膜部分重叠，使反射面 上部的高反膜只将入射光反射一次。干涉测量方 法为：(1)调整点衍射板的位置，(2)用探测器采 集载频干涉图，(3)对干涉图进行傅里叶变换处 理恢复波前相位，(4)对恢复的相位进行Zernike 拟合，(5)系统误差标定。本发明对激光瞬态波前 检测的精度高、成本低，且测试过程简单方便。 A A 6 6 6 6 3 3 3 3 8 8 9 9 3 3 0 0 1 1 N N C C CN 103983366 A 权 利 要 求 书 1/2 页 1. 一种斜入射反射型点衍射板，其特征在于，该点衍射板的基底采用折射率均匀的光 学玻璃，且该光学玻璃为厚度为h 的平行平板结构；所述基底的入射面上部镀有透过率为 t1 的增透膜、下部镀有透过率为r1 的介质膜，基底的反射面上部镀有反射率为r2 的高反膜、 下部镀有透过率为t2 的增透膜；所述入射面下部的介质膜内设有一个椭圆孔，该椭圆孔的 中心到入射面上部增透膜的距离为d ；所述基底反射面上部的高反膜在入射面上的投影与 入射面下部的介质膜部分重叠，使反射面上部的高反膜只将入射光反射一次。 2. 根据权利要求1 所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述光学玻璃为厚度 为h 的平行平板结构，其中h 如下式所示： 其中，N 为探测器横向像素数，λ为入射光的中心波长，F 为会聚光束的F 数，n 为点衍 射板基底的折射率，θ为点衍射板的工作角度，即会聚光束的光轴与点衍射板入射面法线 的夹角。 3. 根据权利要求1 所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述入射面上部增透 膜的透过率t1 ≥50 ％、下部介质膜的透过率r1 ≤0.1 ％，所述反射面上部高反膜的反射率 r2 ≥90 ％、下部增透膜的透过率t2 ≥90 ％。 4. 根据权利要求1 所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述椭圆孔的长轴与 短轴之比为 且所述椭圆孔的短轴长b 满足下式： b1.22 λF 。 5. 根据权利要求1 所述的斜入射反射型点衍射板，其特征在于，所述椭圆孔的中心到 入射面上半部分增透膜的距离d 满足下式