点衍射波前位相的测评-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １１ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１１ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １１ Ｎｏｖ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１１２３９００８ 　 点衍射波前位相的测评 ， １ １２ 马冬梅 ，陈土泉 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：提出一种检测点衍射干涉仪关键部件针孔所产生的衍射光学波前的方法。介绍了点衍射波前的产生原理，分析了 小孔质量状态、照明光路调整状态与波前各个像差分量之间的关系。基于信息光学基础理论，采用傅里叶变换和迭代算 法，采集针孔衍射图像并进行计算分析，实现对衍射波前的位相复原以获得波前信息。阐述了测试方法的理论依据和计 算公式，应用研制的位相复原分析计算软件测试并分析了实际采集的点衍射图像，通过 次的迭代，输出的位相值逐渐 １５ 收敛，图像误差因子下降到 ０．１２。目前，该方法已用于对针孔的筛选和针孔照明系统的装调中，实验结果证明了该测试 方法的可行性。 关 键 词：点衍射；波相差；傅里叶变换；位相复原；迭代算法 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ Ｏ４３６．１ＴＨ７４４．３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２３９０ 　　 　　 犜犲狊狋犪狀犱犲狏犪犾狌犪狋犻狅狀狅犳狑犪狏犲犳狉狅狀狋犺犪狊犲狅犳狅犻狀狋犱犻犳犳狉犪犮狋犻狅狀 狆 狆 ， １ １２ ， ＭＡＤｏｎｍｅｉＣＨＥＮＴｕｕａｎ ｇ ｑ （ ， ， １．犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犗 狋犻犮狊 犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮 犵 犳 狆